
【電】 resistance monometer
resistance
【計】 ohmic resistance; R
【化】 resistance
【醫】 resistance
vacuum gauge
【化】 vacuum gage; vacuum gauge; vacuum manometer; vacuum meter; vacuumometer
【醫】 vacuum gauge
電阻真空計(Pirani Gauge)是一種基于熱傳導原理的真空度測量裝置,其英文對應術語為"Thermal Conductivity Vacuum Gauge"。該儀器通過測量加熱元件在氣體環境中的熱損失,間接推算真空系統的氣壓值。其核心原理可表述為: $$ Q = k cdot (T - T_0) cdot P $$ 其中$Q$為熱損失,$k$為氣體熱導率,$T$為加熱絲溫度,$T_0$為環境溫度,$P$為氣體壓力。
根據美國國家标準與技術研究院(NIST)的真空計量标準,該設備典型工作範圍為$10^{-4}$至$10$托(Torr)。其主要應用場景包含半導體制造設備的真空監控、冷凍幹燥機的壓力檢測,以及科研實驗室的真空系統維護。
在工程實踐中,電阻真空計呈現三大特性:
英國國家物理實驗室(NPL)的對比測試表明,經嚴格校準的電阻真空計測量誤差可控制在±5%以内。該設備因結構簡單、成本低廉的特點,現已成為工業真空系統的标準配置組件。
電阻真空計(又稱皮拉尼真空計)是一種基于熱傳導原理測量真空度的儀器,適用于中低真空範圍(通常為大氣壓至$1.0 times 10^{-1} , text{Pa}$)。以下是其核心要點:
如需更詳細的技術參數或校準方法,可參考化工儀器網或相關設備手冊。
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