
【电】 resistance monometer
resistance
【计】 ohmic resistance; R
【化】 resistance
【医】 resistance
vacuum gauge
【化】 vacuum gage; vacuum gauge; vacuum manometer; vacuum meter; vacuumometer
【医】 vacuum gauge
电阻真空计(Pirani Gauge)是一种基于热传导原理的真空度测量装置,其英文对应术语为"Thermal Conductivity Vacuum Gauge"。该仪器通过测量加热元件在气体环境中的热损失,间接推算真空系统的气压值。其核心原理可表述为: $$ Q = k cdot (T - T_0) cdot P $$ 其中$Q$为热损失,$k$为气体热导率,$T$为加热丝温度,$T_0$为环境温度,$P$为气体压力。
根据美国国家标准与技术研究院(NIST)的真空计量标准,该设备典型工作范围为$10^{-4}$至$10$托(Torr)。其主要应用场景包含半导体制造设备的真空监控、冷冻干燥机的压力检测,以及科研实验室的真空系统维护。
在工程实践中,电阻真空计呈现三大特性:
英国国家物理实验室(NPL)的对比测试表明,经严格校准的电阻真空计测量误差可控制在±5%以内。该设备因结构简单、成本低廉的特点,现已成为工业真空系统的标准配置组件。
电阻真空计(又称皮拉尼真空计)是一种基于热传导原理测量真空度的仪器,适用于中低真空范围(通常为大气压至$1.0 times 10^{-1} , text{Pa}$)。以下是其核心要点:
如需更详细的技术参数或校准方法,可参考化工仪器网或相关设备手册。
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