
【化】 ionization high-vacuum gage; ionization high-vacuum gauge
ionization
【化】 electric dissociation; electroionization; ionization
【醫】 electrolytic dissociation; ionization; ionize
ceremony; formula; model; pattern; ritual; style; type
【化】 expression
【醫】 F.; feature; formula; Ty.; type
high; high-priced; lofty; loud; tall
【醫】 homo-; hyper-; hypsi-; hypso-; per-
vacuum gauge
【化】 vacuum gage; vacuum gauge; vacuum manometer; vacuum meter; vacuumometer
【醫】 vacuum gauge
電離式高真空計(Ionization High Vacuum Gauge)是一種基于氣體分子電離原理測量高真空環境(通常範圍在$10^{-3}$至$10^{-10}$ Pa)的精密儀器。其核心機制是通過電離氣體分子産生的離子流強度與氣壓之間的定量關系實現真空度測量。
根據電離方式差異,該設備分為兩類:
該技術廣泛應用于半導體制造、粒子加速器、空間環境模拟等尖端領域。美國國家标準技術研究院(NIST)的真空計量标準表明,現代電離真空計的線性誤差可控制在±2%以内。中國國家标準GB/T 3163-2007《真空技術術語》第4.2.9條款對此類設備的技術參數有明确定義。
電離式高真空計是一種用于測量高真空至超高真空環境(通常低于 (10^{-1}) Pa)的儀器,其核心原理是通過電離氣體分子并檢測離子流來推算壓強。以下是詳細解釋:
電離式高真空計基于氣體電離效應:在低壓強下,氣體分子被電離生成的正離子數與氣體壓強成正比。通過測量離子流大小,即可間接得到真空度值。具體過程包括:
根據電離方式不同,電離式高真空計分為兩類:
熱陰極電離真空計
冷陰極電離真空計
總結來說,電離式高真空計通過電離-離子流檢測機制實現高精度真空測量,熱陰極型適用于常規高真空,而冷陰極型更適合超高真空及惡劣環境。
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