
【化】 ionization high-vacuum gage; ionization high-vacuum gauge
ionization
【化】 electric dissociation; electroionization; ionization
【医】 electrolytic dissociation; ionization; ionize
ceremony; formula; model; pattern; ritual; style; type
【化】 expression
【医】 F.; feature; formula; Ty.; type
high; high-priced; lofty; loud; tall
【医】 homo-; hyper-; hypsi-; hypso-; per-
vacuum gauge
【化】 vacuum gage; vacuum gauge; vacuum manometer; vacuum meter; vacuumometer
【医】 vacuum gauge
电离式高真空计(Ionization High Vacuum Gauge)是一种基于气体分子电离原理测量高真空环境(通常范围在$10^{-3}$至$10^{-10}$ Pa)的精密仪器。其核心机制是通过电离气体分子产生的离子流强度与气压之间的定量关系实现真空度测量。
根据电离方式差异,该设备分为两类:
该技术广泛应用于半导体制造、粒子加速器、空间环境模拟等尖端领域。美国国家标准技术研究院(NIST)的真空计量标准表明,现代电离真空计的线性误差可控制在±2%以内。中国国家标准GB/T 3163-2007《真空技术术语》第4.2.9条款对此类设备的技术参数有明确定义。
电离式高真空计是一种用于测量高真空至超高真空环境(通常低于 (10^{-1}) Pa)的仪器,其核心原理是通过电离气体分子并检测离子流来推算压强。以下是详细解释:
电离式高真空计基于气体电离效应:在低压强下,气体分子被电离生成的正离子数与气体压强成正比。通过测量离子流大小,即可间接得到真空度值。具体过程包括:
根据电离方式不同,电离式高真空计分为两类:
热阴极电离真空计
冷阴极电离真空计
总结来说,电离式高真空计通过电离-离子流检测机制实现高精度真空测量,热阴极型适用于常规高真空,而冷阴极型更适合超高真空及恶劣环境。
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