
【計】 stacked gate structure; stacked structure
fold; furl; pile up; repeat
【電】 overlay
bar
frame; structure; composition; configuration; construction; fabric; mechanism
【計】 frame work
【醫】 constitution; formatio; formation; installation; structure; tcxture
疊栅結構 (Dié shān jiégòu | Stacked Gate Structure)
在半導體器件(尤其是現代MOSFET和3D NAND閃存)中,"疊栅結構"指一種通過垂直堆疊多個栅極層或導電層形成的複雜器件構型。其核心目的是在有限平面空間内提升器件密度與性能,突破傳統單層器件的物理限制。
通過沉積、光刻和蝕刻工藝,在襯底上依次構建多個獨立的栅極層(如多晶矽、金屬栅)及絕緣層(如二氧化矽、高k介質)。例如,3D NAND閃存中可堆疊數十至數百層存儲單元。
各層功能單元(如晶體管的栅極、浮栅、控制栅)沿垂直方向排列,形成三維陣列,顯著縮小單元尺寸。
通過垂直堆疊規避平面工藝的微縮極限,單位面積内可容納更多晶體管(如3D NAND的存儲密度可達傳統2D結構的百倍以上)。
多層栅極可獨立調控載流子輸運路徑,降低串擾,提升開關速度與能效比。例如,FinFET中的疊栅設計可增強栅控能力,抑制短溝道效應。
支撐摩爾定律的持續發展,解決7nm以下制程的漏電與熱耗散問題。
支持異質集成(如邏輯與存儲單元堆疊),為存算一體等新興架構提供硬件基礎。
存儲單元(浮栅/電荷陷阱層)與控制栅垂直堆疊,實現TB級存儲容量。
納米片/納米線栅極環繞溝道多層堆疊,替代FinFET成為3nm以下節點主流技術。
對疊栅晶體管在亞5nm節點的可靠性挑戰分析(來源:IEEE EDS)。
綜述3D NAND疊栅工藝中的材料與界面工程(來源:Applied Physics Reviews)。
定義疊栅結構為後摩爾時代關鍵技術路徑(來源:IEEE IRDS)。
注:因搜索結果未提供直接引用鍊接,以上來源機構為領域内權威平台,其公開文獻可進一步驗證技術細節。
疊栅結構是光伏電池領域的一種新型電極設計技術,通過簡化傳統栅線結構實現降本增效。以下是其核心要點:
注:該技術目前主要應用于TOPCon等高效電池,需結合具體工藝驗證長期可靠性。更多技術細節可參考光伏領域權威期刊或專利文獻。
巴耳澤氏綜合征打印表地方長官的職權繁重浮動編碼高光面漆澤肱二頭肌桡骨囊共生發酵現象宏觀常數昏糊痙攣監視人框架式知識表達擂類曼氏裂頭縧蟲兩段除渣器連續不斷理解力逆行性遺忘排量乳糖操縱子示差極譜石膏指數實心導體使自溶算法譯碼程式藤蔓挑剔的人微波幹燥僞隨機數序列