離子束清洗英文解釋翻譯、離子束清洗的近義詞、反義詞、例句

英語翻譯：

【計】 ion beam cleaning

【化】 ion beam; ion cluster; ionic cluster

clean; purge; purge of; rinse; scour
【計】 cleaning; erase
【醫】 cleaning

離子束清洗（Ion Beam Cleaning）是一種利用高能離子束轟擊材料表面以去除污染物、氧化層或殘留物的精密表面處理技術。該技術通過電離氣體（如氩氣）産生定向高能離子流，通過物理濺射作用剝離材料表面的微觀雜質，廣泛應用于半導體制造、光學元件加工及納米材料研究領域。

從漢英詞典角度解析：

離子束（Ion Beam）：指經電場加速形成的帶電粒子流，英文對應"ion beam"（中國科技術語審定委員會，2020）。
清洗（Cleaning）：在此特指通過非化學接觸方式實現表面淨化，對應英文術語為"non-contact surface cleaning"（Springer材料科學手冊，2021）。

技術原理包含兩個關鍵過程：

該技術相較于傳統濕法清洗具有無化學廢液、亞納米級精度控制優勢，被台積電等半導體企業列為先進制程标準工藝（IEEE電子器件學報，2023）。

離子束清洗是一種通過高能離子束轟擊材料表面實現去污的技術，主要應用于半導體制造、鍍膜預處理等領域。以下是詳細解釋：

離子束清洗（ion beam cleaning）基于離子束抛光原理，利用數百電子伏的氩離子（Ar⁺）或其他氣體離子轟擊材料表面，通過物理作用剝離污染物層。其核心作用是徹底清除表面吸附顆粒、金屬雜質及化學殘留，同時提高後續鍍膜的結合力。

離子束清洗通過高能離子轟擊實現無污染、高精度的表面清潔，是高端制造和科研中不可替代的工藝之一。其核心技術優勢在于能量可控性、材料兼容性及清洗徹底性。