
超純水 (Ultrapure Water)
術語解析
“超純水”是中文術語,對應英文“Ultrapure Water”(簡稱UPW),指經過多重純化工藝處理後,雜質含量極低的水。其核心标準是電阻率≥18.2 MΩ·cm(25°C),總有機碳(TOC)≤5 ppb,微生物、顆粒物及離子濃度接近零㈠。
定義與标準
根據國際半導體産業協會(SEMI)标準,超純水需滿足:
生産工藝
典型流程包括:
核心應用領域
權威參考來源
㈠ 國際标準化組織. ISO 3696:1987 分析實驗室用水規格
㈡ SEMI國際标準. SEMI F63-0221 超純水水質指南 [來源:SEMI官網]
㈢ ASTM國際. D5196-22 超純水總有機碳測試标準
㈣ 維基百科. 超純水 [來源:Wikipedia]
㈤ 美國環保署. 超純水生産技術白皮書 [來源:EPA Water Tech]
㈥ 中國藥典委員會. 《中國藥典》2020年版四部通則 [來源:藥典官網]
㈦ MilliporeSigma. 實驗室超純水系統技術手冊 [來源:Merck官網]
超純水(Ultra Pure Water,簡稱UP水)是一種純度極高的水,其核心特征和相關信息如下:
超純水是通過多級工藝去除水中幾乎所有雜質的水,包括無機離子、有機物、顆粒物、微生物及溶解氣體等。其電阻率在25℃時達到18 MΩ·cm以上(接近理論極限值18.25 MΩ·cm),電導率小于0.1 μS/cm。
極低雜質含量
物理指标
電阻率是核心衡量标準,通過離子交換、反滲透等技術實現接近理論純度的極限值。
需經過四大步驟:
超純水不可直接飲用,因其缺乏礦物質且會反向吸收人體電解質。其标準雖無全球統一規範,但行業普遍以電阻率≥18 MΩ·cm為基準。
如需更詳細制備流程或具體行業标準,可參考、3、5等來源。
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