
超纯水 (Ultrapure Water)
术语解析
“超纯水”是中文术语,对应英文“Ultrapure Water”(简称UPW),指经过多重纯化工艺处理后,杂质含量极低的水。其核心标准是电阻率≥18.2 MΩ·cm(25°C),总有机碳(TOC)≤5 ppb,微生物、颗粒物及离子浓度接近零㈠。
定义与标准
根据国际半导体产业协会(SEMI)标准,超纯水需满足:
生产工艺
典型流程包括:
核心应用领域
权威参考来源
㈠ 国际标准化组织. ISO 3696:1987 分析实验室用水规格
㈡ SEMI国际标准. SEMI F63-0221 超纯水水质指南 [来源:SEMI官网]
㈢ ASTM国际. D5196-22 超纯水总有机碳测试标准
㈣ 维基百科. 超纯水 [来源:Wikipedia]
㈤ 美国环保署. 超纯水生产技术白皮书 [来源:EPA Water Tech]
㈥ 中国药典委员会. 《中国药典》2020年版四部通则 [来源:药典官网]
㈦ MilliporeSigma. 实验室超纯水系统技术手册 [来源:Merck官网]
超纯水(Ultra Pure Water,简称UP水)是一种纯度极高的水,其核心特征和相关信息如下:
超纯水是通过多级工艺去除水中几乎所有杂质的水,包括无机离子、有机物、颗粒物、微生物及溶解气体等。其电阻率在25℃时达到18 MΩ·cm以上(接近理论极限值18.25 MΩ·cm),电导率小于0.1 μS/cm。
极低杂质含量
物理指标
电阻率是核心衡量标准,通过离子交换、反渗透等技术实现接近理论纯度的极限值。
需经过四大步骤:
超纯水不可直接饮用,因其缺乏矿物质且会反向吸收人体电解质。其标准虽无全球统一规范,但行业普遍以电阻率≥18 MΩ·cm为基准。
如需更详细制备流程或具体行业标准,可参考、3、5等来源。
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