
【電】 field-emissionmicroscope
field; a level open space; scene
【化】 field
【醫】 field; plant
launch; discharge; shoot; project; eradiate; let fly; transmit
【醫】 emission
microscope
【化】 microscope
【醫】 microscope
場發射顯微鏡(Field Emission Microscope, FEM)是一種基于量子隧穿效應的高分辨率表面分析儀器,其核心原理是通過施加強電場使被觀測樣品表面産生電子場發射,并通過電子軌迹成像觀察原子級表面結構。該技術由Erwin Wilhelm Müller于1936年首次實現,标志着表面科學領域的重大突破。
從結構組成看,場發射顯微鏡包含三個關鍵部分:①超高真空腔室(壓力通常低于10⁻⁸ Pa),用于消除氣體分子對電子束的幹擾;②針尖狀金屬樣品(曲率半徑約100 nm),作為場發射電子源;③熒光屏或探測器,用于接收電子信號并生成圖像。其空間分辨率可達2-3 nm,能夠直接觀測晶體缺陷和表面吸附原子行為(《電子顯微學導論》,Springer, 2019)。
該技術在材料科學中具有不可替代性,主要應用于:
美國國家标準與技術研究院(NIST)的對比實驗表明,在表面功函數測量方面,FEM的精度比傳統SEM高2個數量級(NIST Technical Note 1658)。
現代場發射顯微鏡已衍生出多種改進型,包括:
場發射顯微鏡(Field Emission Microscope, FEM)是一種基于場發射電子原理的高分辨率顯微技術,主要用于原子尺度觀察材料表面結構。其核心原理和特點如下:
場發射技術也應用于掃描電子顯微鏡,形成FE-SEM,其特點包括:
1936年由Müller發明,後隨超高真空技術改進成為表面研究的重要工具()。現代場發射設備已廣泛應用于科研與工業檢測,如半導體缺陷分析()。
提示:如需了解具體型號技術參數(如分辨率範圍、真空系統配置),可參考等來源。
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