
【电】 field-emissionmicroscope
field; a level open space; scene
【化】 field
【医】 field; plant
launch; discharge; shoot; project; eradiate; let fly; transmit
【医】 emission
microscope
【化】 microscope
【医】 microscope
场发射显微镜(Field Emission Microscope, FEM)是一种基于量子隧穿效应的高分辨率表面分析仪器,其核心原理是通过施加强电场使被观测样品表面产生电子场发射,并通过电子轨迹成像观察原子级表面结构。该技术由Erwin Wilhelm Müller于1936年首次实现,标志着表面科学领域的重大突破。
从结构组成看,场发射显微镜包含三个关键部分:①超高真空腔室(压力通常低于10⁻⁸ Pa),用于消除气体分子对电子束的干扰;②针尖状金属样品(曲率半径约100 nm),作为场发射电子源;③荧光屏或探测器,用于接收电子信号并生成图像。其空间分辨率可达2-3 nm,能够直接观测晶体缺陷和表面吸附原子行为(《电子显微学导论》,Springer, 2019)。
该技术在材料科学中具有不可替代性,主要应用于:
美国国家标准与技术研究院(NIST)的对比实验表明,在表面功函数测量方面,FEM的精度比传统SEM高2个数量级(NIST Technical Note 1658)。
现代场发射显微镜已衍生出多种改进型,包括:
场发射显微镜(Field Emission Microscope, FEM)是一种基于场发射电子原理的高分辨率显微技术,主要用于原子尺度观察材料表面结构。其核心原理和特点如下:
场发射技术也应用于扫描电子显微镜,形成FE-SEM,其特点包括:
1936年由Müller发明,后随超高真空技术改进成为表面研究的重要工具()。现代场发射设备已广泛应用于科研与工业检测,如半导体缺陷分析()。
提示:如需了解具体型号技术参数(如分辨率范围、真空系统配置),可参考等来源。
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