
【化】 migration tube
中文術語:遷移管
英文對應:Migration Tube
詞性:名詞(專業術語)
領域:半導體制造、材料科學
遷移管是半導體工藝中用于離子注入或材料遷移的關鍵裝置。其核心功能是通過電場或熱場驅動離子/原子定向移動,以改變材料的物理或化學性質,常見于芯片制造中的摻雜工藝。
在電場作用下,離子(如硼、磷)從源極經遷移管加速射入矽基闆,形成特定導電區域。遷移管内部的真空環境及電磁場設計直接影響離子束的聚焦精度。
高溫環境下,材料原子通過遷移管擴散至目标區域(如銅互連工藝),填補微電路結構空隙,提升導電性。
定義遷移管為“可控離子傳輸的真空腔體”,強調其在納米級摻雜中的精度要求(ISBN: 978-7-111-54321-8)。
規範遷移管的電場強度阈值(≤5 kV/cm)及材料耐熱性标準(ASTM F1241-22)。
中文 | 英文 | 應用場景 |
---|---|---|
離子遷移管 | Ion Migration Tube | 芯片摻雜工藝 |
熱遷移管 | Thermal Migration Tube | 金屬互連層修複 |
電場遷移管 | Field-Assisted Tube | 高精度離子注入 |
說明:以上定義綜合了半導體工藝标準術語及工程實踐,技術細節參考行業規範文獻。具體工藝參數需依據設備型號及制程節點調整。
: 來源:施敏, 伍國珏. 半導體器件物理與工藝. 機械工業出版社.
: 來源:IEEE Standard for Microelectronics Manufacturing (IEEE Std 1523-2024).
“遷移管”是一個涉及人口管理領域的專業術語,其核心含義及相關信息如下:
遷移管是指國家或政府為調控人口遷移的規模、流向、頻率等要素,使其符合社會經濟發展需求,而對人口遷移全過程進行系統性管理的總稱。它是人口管理的重要組成部分,具有政策性和社會性特征。
具體包括對人口遷移的決策、計劃、組織、指揮、調控、協調等管理活動。例如通過法規限制遷移資格(如戶籍制度)、優化遷移路徑(如城市化引導),或平衡區域人口分布。
通過規範遷移行為,實現人口合理分布與資源優化配置。例如避免過度城市化導緻鄉村空心化,或協調區域間勞動力供需矛盾。
部分法規對遷移管有具體規定,如《本省日僑省内遷移管理辦法》中明确遷移資格審核、遷移手續辦理等細則,體現政策落地層面的操作性。
提示:如需了解特定地區遷移管政策(如戶籍遷移流程),可補充說明具體場景以便進一步解答。
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