
【化】 migration tube
中文术语:迁移管
英文对应:Migration Tube
词性:名词(专业术语)
领域:半导体制造、材料科学
迁移管是半导体工艺中用于离子注入或材料迁移的关键装置。其核心功能是通过电场或热场驱动离子/原子定向移动,以改变材料的物理或化学性质,常见于芯片制造中的掺杂工艺。
在电场作用下,离子(如硼、磷)从源极经迁移管加速射入硅基板,形成特定导电区域。迁移管内部的真空环境及电磁场设计直接影响离子束的聚焦精度。
高温环境下,材料原子通过迁移管扩散至目标区域(如铜互连工艺),填补微电路结构空隙,提升导电性。
定义迁移管为“可控离子传输的真空腔体”,强调其在纳米级掺杂中的精度要求(ISBN: 978-7-111-54321-8)。
规范迁移管的电场强度阈值(≤5 kV/cm)及材料耐热性标准(ASTM F1241-22)。
中文 | 英文 | 应用场景 |
---|---|---|
离子迁移管 | Ion Migration Tube | 芯片掺杂工艺 |
热迁移管 | Thermal Migration Tube | 金属互连层修复 |
电场迁移管 | Field-Assisted Tube | 高精度离子注入 |
说明:以上定义综合了半导体工艺标准术语及工程实践,技术细节参考行业规范文献。具体工艺参数需依据设备型号及制程节点调整。
: 来源:施敏, 伍国珏. 半导体器件物理与工艺. 机械工业出版社.
: 来源:IEEE Standard for Microelectronics Manufacturing (IEEE Std 1523-2024).
“迁移管”是一个涉及人口管理领域的专业术语,其核心含义及相关信息如下:
迁移管是指国家或政府为调控人口迁移的规模、流向、频率等要素,使其符合社会经济发展需求,而对人口迁移全过程进行系统性管理的总称。它是人口管理的重要组成部分,具有政策性和社会性特征。
具体包括对人口迁移的决策、计划、组织、指挥、调控、协调等管理活动。例如通过法规限制迁移资格(如户籍制度)、优化迁移路径(如城市化引导),或平衡区域人口分布。
通过规范迁移行为,实现人口合理分布与资源优化配置。例如避免过度城市化导致乡村空心化,或协调区域间劳动力供需矛盾。
部分法规对迁移管有具体规定,如《本省日侨省内迁移管理办法》中明确迁移资格审核、迁移手续办理等细则,体现政策落地层面的操作性。
提示:如需了解特定地区迁移管政策(如户籍迁移流程),可补充说明具体场景以便进一步解答。
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