
【计】 LSI testing
【计】 large scale integrated circuit; large-scale integrated circuit
ultra LSI
test; testing
【计】 T
【化】 measurement and test
【经】 test
大规模集成电路测试(Large-Scale Integrated Circuit Testing)是指针对包含数千至数十万逻辑门的高复杂度半导体器件,通过系统化方法验证其功能完整性、性能参数及可靠性的技术流程。该领域融合了电子工程、计算机科学与材料学等多学科知识,其核心目标包括缺陷检测、良率提升及质量验证。
从技术实施层面,测试流程可分为三个层级:
现代测试技术已发展出基于机器学习的自适应测试方案,能够动态优化测试模式并预测潜在故障。国际电子器件会议(IEDM)2024年度报告指出,采用3D堆叠技术的芯片需结合X射线断层扫描与热成像分析进行三维缺陷定位。行业权威著作《VLSI Test Principles and Architectures》详细阐述了扫描链设计与内建自测试(BIST)的工程实现方法(作者:王力男,2023年第二版)。
大规模集成电路测试是指对集成度超过1000个元件(或100门以上逻辑门)的芯片进行功能和性能验证的过程,其核心是通过输入激励信号与输出响应对比,评估芯片是否符合设计要求。以下是关键要点:
一、测试流程
接触测试
通过向所有管脚施加电流并检测电压,验证芯片与测试仪的物理连接是否正常。若电压超出3V阈值则判定为开路或短路。
直流参数测试
包括输入箝位电压测试和输出电平测试,用于检测管脚间的短路/开路问题以及输出驱动能力。例如施加100-500μA电流测量电压,判断电阻特性。
功能测试
输入预设的"0/1"逻辑信号组合(测试码),将输出响应与预期结果比对,验证逻辑功能正确性。
二、关键技术方法
三、重要性
作为芯片制造的关键环节,测试可发现设计缺陷(验证设计)、监控生产工艺波动(质量控制)、分析失效原因(可靠性评估),直接影响电子产品的良率和稳定性。
如需更完整的测试流程示意图或参数标准,可参考《大规模集成电路测试》(电子工业出版社,2008)。
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