
【计】 thick-film technology
【计】 thick-film
【医】 pachyhymenia; pachymenia
art; science; skill; technique; technology
【计】 switching technique; techno
【医】 technic; technique
【经】 technique; technology
厚膜技术(Thick Film Technology)是一种在电子工程领域广泛应用的基板表面加工工艺,指通过丝网印刷、高温烧结等工序,在陶瓷或玻璃基板上形成数微米至数十微米厚的功能性膜层。该技术主要用于制造混合集成电路、传感器、电阻网络等电子元器件。以下是其核心要点:
膜层厚度
厚膜通常指厚度在10-100微米的膜层(薄膜技术通常<1微米),通过丝网印刷将导电浆料(如银、钯银合金)、电阻浆料(如钌酸盐)或介质浆料精确涂覆在基板上,经800-1000℃烧结形成稳固结构 。
核心工艺步骤
特性 | 厚膜技术 | 薄膜技术 |
---|---|---|
膜厚范围 | 10-100 μm | 0.01-1 μm |
制备方法 | 丝网印刷+烧结 | 真空蒸镀/溅射 |
材料成本 | 较低(浆料利用率>90%) | 较高(设备及靶材成本高) |
典型应用 | 功率电阻、汽车电子模块 | 高频IC、光学镀膜 |
厚膜电阻凭借高功率密度(可达50W/cm²)和优异散热性,广泛应用于电动汽车逆变器模块(如博世IGBT驱动模块)。
5G基站中的微波滤波器采用厚膜技术制备银电极,实现毫米波频段低损耗传输(如华为射频前端模组)。
高温压力传感器通过Al₂O₃基板上的厚膜Pt电阻实现800℃环境下的引擎状态监测(NASA喷气推进实验室技术报告)。
厚膜方阻(□)计算公式:
$$
R_{square} = rho / t
$$
其中$rho$为浆料体电阻率,$t$为膜厚。通过调整浆料成分与厚度,可实现□值范围0.1mΩ-10MΩ,满足从大电流传导到高阻值精密电路的需求。
权威参考来源:
厚膜技术是一种微电子制造工艺,主要通过丝网印刷和高温烧结在陶瓷基板上形成多层电路结构。以下是综合多个来源的详细解析:
厚膜技术利用丝网印刷将导体浆料、电阻浆料或介质浆料转移到陶瓷基板上,经高温烧结形成牢固的导电或绝缘膜层。通过重复印刷和烧结步骤,可构建包含电阻、电容或电感的多层互连电路。
随着电子设备微型化,厚膜技术持续优化线宽精度和布线密度,并拓展至微波电路等高频场景。
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