
【計】 thick-film technology
【計】 thick-film
【醫】 pachyhymenia; pachymenia
art; science; skill; technique; technology
【計】 switching technique; techno
【醫】 technic; technique
【經】 technique; technology
厚膜技術(Thick Film Technology)是一種在電子工程領域廣泛應用的基闆表面加工工藝,指通過絲網印刷、高溫燒結等工序,在陶瓷或玻璃基闆上形成數微米至數十微米厚的功能性膜層。該技術主要用于制造混合集成電路、傳感器、電阻網絡等電子元器件。以下是其核心要點:
膜層厚度
厚膜通常指厚度在10-100微米的膜層(薄膜技術通常<1微米),通過絲網印刷将導電漿料(如銀、钯銀合金)、電阻漿料(如钌酸鹽)或介質漿料精确塗覆在基闆上,經800-1000℃燒結形成穩固結構 。
核心工藝步驟
特性 | 厚膜技術 | 薄膜技術 |
---|---|---|
膜厚範圍 | 10-100 μm | 0.01-1 μm |
制備方法 | 絲網印刷+燒結 | 真空蒸鍍/濺射 |
材料成本 | 較低(漿料利用率>90%) | 較高(設備及靶材成本高) |
典型應用 | 功率電阻、汽車電子模塊 | 高頻IC、光學鍍膜 |
厚膜電阻憑借高功率密度(可達50W/cm²)和優異散熱性,廣泛應用于電動汽車逆變器模塊(如博世IGBT驅動模塊)。
5G基站中的微波濾波器采用厚膜技術制備銀電極,實現毫米波頻段低損耗傳輸(如華為射頻前端模組)。
高溫壓力傳感器通過Al₂O₃基闆上的厚膜Pt電阻實現800℃環境下的引擎狀态監測(NASA噴氣推進實驗室技術報告)。
厚膜方阻(□)計算公式:
$$
R_{square} = rho / t
$$
其中$rho$為漿料體電阻率,$t$為膜厚。通過調整漿料成分與厚度,可實現□值範圍0.1mΩ-10MΩ,滿足從大電流傳導到高阻值精密電路的需求。
權威參考來源:
厚膜技術是一種微電子制造工藝,主要通過絲網印刷和高溫燒結在陶瓷基闆上形成多層電路結構。以下是綜合多個來源的詳細解析:
厚膜技術利用絲網印刷将導體漿料、電阻漿料或介質漿料轉移到陶瓷基闆上,經高溫燒結形成牢固的導電或絕緣膜層。通過重複印刷和燒結步驟,可構建包含電阻、電容或電感的多層互連電路。
隨着電子設備微型化,厚膜技術持續優化線寬精度和布線密度,并拓展至微波電路等高頻場景。
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