
【电】 diffused planar transistor
扩散平面晶体管(Diffused Planar Transistor)是一种基于半导体平面工艺制造的晶体管,其名称来源于核心制造工艺(扩散法)和结构特征(平面电极布局)。以下是详细解释:
扩散(Diffused)
指制造过程中采用热扩散技术,将杂质原子(如硼、磷)渗入硅晶圆表面形成PN结。该工艺通过高温环境使杂质从气相或固相源向硅内部扩散,精确控制掺杂浓度和结深。
平面(Planar)
描述器件的电极结构布局:发射极、基极和集电极均位于晶体管的同一平面上。这种设计通过二氧化硅层实现电极绝缘隔离,区别于早期台面晶体管的垂直电极结构。
晶体管(Transistor)
核心功能为电流放大与开关控制,属于双极结型晶体管(BJT),通过基极电流调控集电极-发射极间电流。
结构特征
核心工艺步骤
硅片氧化 → 光刻图形化 → 杂质扩散 → 电极金属化
其中扩散工艺需精确控制温度(900°C–1200°C)与时间,实现纳米级结深调控。
革命性突破
由贝尔实验室的Jean Hoerni于1959年发明,平面工艺解决了早期晶体管表面漏电问题,使器件可靠性提升百倍以上,直接推动了集成电路的诞生。
产业影响
平面技术成为现代半导体制造的基础,当前CMOS工艺仍沿用其核心思想(如扩散掺杂、平面电极)。戈登·摩尔曾指出:“平面工艺是硅技术发展的分水岭”。
根据IEEE标准术语库(IEEE Std 100):
Diffused Planar Transistor
A bipolar transistor fabricated by diffusing impurities into a semiconductor substrate through openings in an oxide mask, with all junctions terminating on a single planar surface.
参考文献来源
“扩散平面晶体管”是一种结合了扩散工艺和平面结构的半导体器件,属于双极型晶体管的一种。以下是详细解释:
扩散平面晶体管是通过杂质扩散技术在半导体材料表面形成不同掺杂区域的晶体管。其核心结构为NPN或PNP型三层,表面平坦,因此称为“平面”。
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