
【计】 clean room
cleanness; pureness; purgation
【经】 clean-up
chamber; loculus; room; thalamus; ventricle
【医】 camera; camerae; cell; chamber; room; thalamo-; ventricle; ventriculo-
ventriculus
清洁室(Cleanroom)在工业与科研领域中指通过空气过滤系统、压力控制及特殊建筑材料维持超低微粒浓度的密闭空间。其核心功能在于防止生产过程中的微尘污染,广泛应用于半导体制造、生物医药和精密仪器组装等领域。
根据ISO 14644-1国际标准,清洁室按空气中≥0.5μm微粒数量分为九个等级,其中ISO 1级要求每立方米微粒不超过12个。美国联邦标准209E曾长期作为分级依据,现已被ISO体系取代。典型清洁室需包含三大系统:高效空气过滤系统(HEPA/ULPA过滤器)、温湿度控制系统(±1℃精度)和气流组织系统(单向流或湍流)。
在微电子行业,清洁室需同时控制静电(通常维持35-60%湿度)和分子污染(AMC浓度低于1μg/m³)。国际半导体技术路线图(ITRS)规定,28纳米制程芯片生产需达到ISO 3级标准,而5纳米制程则需ISO 2级环境。
洁净室(Clean Room),又称无尘室或清净室,是一种通过控制空气污染物和环境参数来满足特定工艺需求的封闭空间。以下是其核心要点:
洁净室通过过滤、气流控制等技术,将空气中的微粒子(如灰尘、细菌)、有害气体等污染物排除,并精确调节温度、湿度、压力、气流速度等参数。其核心功能是为精密制造(如半导体、制药)或无菌操作(如医疗手术)提供受控环境,防止产品污染。
洁净室按ISO标准分为1-9级,例如ISO 5级对应每立方米≤3,520个≥0.5μm颗粒。实际设计中需根据工艺需求选择技术方案,如制药行业需额外控制微生物,而电子行业更关注静电防护。
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