
【化】 wet vacuum pump
damp; humid; wet
【医】 hygro-
ceremony; formula; model; pattern; ritual; style; type
【化】 expression
【医】 F.; feature; formula; Ty.; type
【化】 pick-up pump; vacuum pump
【医】 vacuum pump
湿式真空泵(Wet Vacuum Pump)是一种通过液体密封介质实现气体抽吸的真空设备,广泛应用于工业、实验室和医疗领域。其核心特征是在工作过程中使用液体(如水、油或特殊溶液)作为密封、润滑和冷却介质,与干式真空泵形成技术区分。
工作原理
该设备通过叶轮或转子的高速旋转,在泵腔内形成液体环。气体在离心力作用下被压缩并排出,同时液体介质持续填充间隙以维持密封效果。这种设计能有效降低内部摩擦热,适用于处理含蒸汽或微小颗粒的气体混合物。
结构特征
典型结构包含泵体、叶轮、进气口、排气口和液体循环系统。高性能型号采用双级压缩设计,配备耐腐蚀材料如不锈钢或陶瓷涂层,可应对强酸强碱环境。密封液的循环路径经过优化设计,部分先进机型能达到0.1Pa的极限真空度。
应用场景
在半导体制造中用于晶圆干燥(参考SEMI标准F42-0302),化工行业处理挥发性有机物时,其液体密封特性可有效防止气体反流。食品包装领域因无油污染风险而多选用水环式变体,符合FDA食品接触材料规范。
选型要素
工程师建议根据介质特性选择密封液类型:水基溶液适用于80℃以下工况,硅油基则可承受200℃高温环境。流量参数需匹配系统容积,常规工业泵的抽气速率范围为5-1200m³/h。维护周期受介质纯度影响,普通工况建议每2000小时更换密封液。
湿式真空泵是一种利用液体(如水或油)辅助工作的真空设备,通过液体的密封、润滑或冷却作用来抽除气体,形成真空环境。以下是其核心要点:
湿式真空泵属于真空泵的一种,与干式泵的主要区别在于运行过程中需要液体参与工作。根据液体类型可分为液环式(如水环泵)和油式(如油旋片泵)。严格分类中,油式泵是湿式泵的常见实现形式,通过循环油路提高密封性和寿命。
广泛用于化工、石油、制药、食品加工等行业,典型场景包括:
更多技术细节可参考化工仪器网或真空泵厂商文档。
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