
【化】 wet vacuum pump
damp; humid; wet
【醫】 hygro-
ceremony; formula; model; pattern; ritual; style; type
【化】 expression
【醫】 F.; feature; formula; Ty.; type
【化】 pick-up pump; vacuum pump
【醫】 vacuum pump
濕式真空泵(Wet Vacuum Pump)是一種通過液體密封介質實現氣體抽吸的真空設備,廣泛應用于工業、實驗室和醫療領域。其核心特征是在工作過程中使用液體(如水、油或特殊溶液)作為密封、潤滑和冷卻介質,與幹式真空泵形成技術區分。
工作原理
該設備通過葉輪或轉子的高速旋轉,在泵腔内形成液體環。氣體在離心力作用下被壓縮并排出,同時液體介質持續填充間隙以維持密封效果。這種設計能有效降低内部摩擦熱,適用于處理含蒸汽或微小顆粒的氣體混合物。
結構特征
典型結構包含泵體、葉輪、進氣口、排氣口和液體循環系統。高性能型號采用雙級壓縮設計,配備耐腐蝕材料如不鏽鋼或陶瓷塗層,可應對強酸強堿環境。密封液的循環路徑經過優化設計,部分先進機型能達到0.1Pa的極限真空度。
應用場景
在半導體制造中用于晶圓幹燥(參考SEMI标準F42-0302),化工行業處理揮發性有機物時,其液體密封特性可有效防止氣體反流。食品包裝領域因無油污染風險而多選用水環式變體,符合FDA食品接觸材料規範。
選型要素
工程師建議根據介質特性選擇密封液類型:水基溶液適用于80℃以下工況,矽油基則可承受200℃高溫環境。流量參數需匹配系統容積,常規工業泵的抽氣速率範圍為5-1200m³/h。維護周期受介質純度影響,普通工況建議每2000小時更換密封液。
濕式真空泵是一種利用液體(如水或油)輔助工作的真空設備,通過液體的密封、潤滑或冷卻作用來抽除氣體,形成真空環境。以下是其核心要點:
濕式真空泵屬于真空泵的一種,與幹式泵的主要區别在于運行過程中需要液體參與工作。根據液體類型可分為液環式(如水環泵)和油式(如油旋片泵)。嚴格分類中,油式泵是濕式泵的常見實現形式,通過循環油路提高密封性和壽命。
廣泛用于化工、石油、制藥、食品加工等行業,典型場景包括:
更多技術細節可參考化工儀器網或真空泵廠商文檔。
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