
【機】 optical flat
optics
【化】 optics
【醫】 optics; photology
flat; slab; tablet
【電】 panel
光學平闆(Optical Flat)是精密測量領域的關鍵工具,指具有極高平面度(通常達λ/20以上,λ=632.8nm)的透明或反射平面器件,主要用于通過光波幹涉原理檢測物體表面的平整度。其核心特征與功能如下:
光學平闆的平面度以光波波長(λ)為基準,常見等級為λ/4、λ/10、λ/20等。例如λ/10表示平面度誤差小于63.3nm(以He-Ne激光波長632.8nm計算)。
多采用熔融石英(Fused Silica)或光學玻璃,經精密研磨抛光制成,熱膨脹系數低(石英為0.55×10⁻⁶/℃),确保溫度穩定性。
當單色光(如鈉光燈)照射至平闆與被測表面間隙時,會形成明暗相間的幹涉條紋。條紋彎曲度與間距直接反映被測面平面度誤差,計算公式為:
$$ h = frac{lambda}{2} cdot frac{d}{D} $$
其中 ( h ) 為高度差,( d ) 為條紋偏移量,( D ) 為條紋間距。
注:以上引用來源基于行業權威出版物及标準文件,鍊接因平台限制未展示,可依據文獻名稱通過學術數據庫檢索原文。
光學平闆是一種用于光學實驗和精密檢測的基礎設備,其核心功能在于提供高精度平面支撐及光學幹涉檢測。以下是綜合多個來源的詳細解釋:
光學平闆通常由高導磁不鏽鋼、鋁合金或大理石等材料制成,表面具有規則排列的螺紋孔(如M6孔距25mm),便于固定實驗器件。主要應用于:
基于光的幹涉現象,當光學平闆與待測表面形成微小空氣楔時,反射光會産生明暗相間的幹涉條紋。通過條紋數量和形狀可定量分析空氣楔高度,公式為: $$ 2h = left(n + frac{1}{2}right)lambda $$ 其中,( h )為空氣間隙高度,( n )為條紋數,( lambda )為光波波長。
如需更完整的參數或應用案例,可參考廠商提供的技術文檔(來源:、2、4)。
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