
【机】 optical flat
optics
【化】 optics
【医】 optics; photology
flat; slab; tablet
【电】 panel
光学平板(Optical Flat)是精密测量领域的关键工具,指具有极高平面度(通常达λ/20以上,λ=632.8nm)的透明或反射平面器件,主要用于通过光波干涉原理检测物体表面的平整度。其核心特征与功能如下:
光学平板的平面度以光波波长(λ)为基准,常见等级为λ/4、λ/10、λ/20等。例如λ/10表示平面度误差小于63.3nm(以He-Ne激光波长632.8nm计算)。
多采用熔融石英(Fused Silica)或光学玻璃,经精密研磨抛光制成,热膨胀系数低(石英为0.55×10⁻⁶/℃),确保温度稳定性。
当单色光(如钠光灯)照射至平板与被测表面间隙时,会形成明暗相间的干涉条纹。条纹弯曲度与间距直接反映被测面平面度误差,计算公式为:
$$ h = frac{lambda}{2} cdot frac{d}{D} $$
其中 ( h ) 为高度差,( d ) 为条纹偏移量,( D ) 为条纹间距。
注:以上引用来源基于行业权威出版物及标准文件,链接因平台限制未展示,可依据文献名称通过学术数据库检索原文。
光学平板是一种用于光学实验和精密检测的基础设备,其核心功能在于提供高精度平面支撑及光学干涉检测。以下是综合多个来源的详细解释:
光学平板通常由高导磁不锈钢、铝合金或大理石等材料制成,表面具有规则排列的螺纹孔(如M6孔距25mm),便于固定实验器件。主要应用于:
基于光的干涉现象,当光学平板与待测表面形成微小空气楔时,反射光会产生明暗相间的干涉条纹。通过条纹数量和形状可定量分析空气楔高度,公式为: $$ 2h = left(n + frac{1}{2}right)lambda $$ 其中,( h )为空气间隙高度,( n )为条纹数,( lambda )为光波波长。
如需更完整的参数或应用案例,可参考厂商提供的技术文档(来源:、2、4)。
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