
【計】 stack gate
fold; furl; pile up; repeat
【電】 overlay
layer; region; stage; story; stratum; tier
【計】 layer
【醫】 coat; lamella; lamellae; lamina; laminae; layer; strata; stratum
bar
疊層栅(stacked gate)是半導體器件中的一種多層級結構栅極設計,常見于非易失性存儲器(如閃存)和功率半導體器件領域。該結構通過垂直堆疊多個導電層與介質層實現電荷存儲與電場調控,其核心特征在于三維空間内的電荷隔離與耦合效率提升。
在技術實現層面,疊層栅通常包含浮置栅(floating gate)和控制栅(control gate)的雙層構造。浮置栅被二氧化矽介質層完全包裹以存儲電荷,控制栅則通過電容耦合實現對存儲單元的讀寫操作。這種結構可使電子隧穿效應發生在更精确的物理位置,從而提高器件的數據保持能力。
材料選擇上,現代疊層栅已發展出金屬-多晶矽混合結構(如TiN/W/SiON),通過功函數工程優化阈值電壓穩定性。國際半導體技術路線圖(ITRS)指出,該結構可将單元尺寸微縮至15nm以下,同時維持10年以上的數據保持周期。
行業應用方面,铠俠(Kioxia)在3D NAND閃存中采用112層堆疊栅結構,使存儲密度達到1.33Tb/in²。美國電氣電子工程師學會(IEEE)的測試數據顯示,這種設計使擦寫耐久性提升至10次循環,較平面結構提升兩個數量級。
“疊層栅”是電子器件領域的專業術語,主要指由多層材料堆疊形成的栅極結構,常見于半導體器件(如晶體管)中。以下是詳細解釋:
基本定義
疊層栅(stack gate),指将不同介電材料或導電材料分層疊加形成的複合栅極結構。這種設計常用于優化器件性能,例如提高介電常數或增強可靠性。
技術特點
應用場景
主要應用于柔性薄膜晶體管、超薄栅介質器件等領域,通過疊層栅結構提升器件在低電壓下的穩定性和效率。
相關擴展
“栅”在電子學中多指電極(如栅極),而在其他語境中也可表示阻攔物(如栅欄)。疊層栅屬于專業術語,日常使用較少。
如需進一步了解疊層栅的具體參數或實驗數據,可參考半導體器件相關學術文獻或工程手冊。
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