
【计】 stack gate
fold; furl; pile up; repeat
【电】 overlay
layer; region; stage; story; stratum; tier
【计】 layer
【医】 coat; lamella; lamellae; lamina; laminae; layer; strata; stratum
bar
叠层栅(stacked gate)是半导体器件中的一种多层级结构栅极设计,常见于非易失性存储器(如闪存)和功率半导体器件领域。该结构通过垂直堆叠多个导电层与介质层实现电荷存储与电场调控,其核心特征在于三维空间内的电荷隔离与耦合效率提升。
在技术实现层面,叠层栅通常包含浮置栅(floating gate)和控制栅(control gate)的双层构造。浮置栅被二氧化硅介质层完全包裹以存储电荷,控制栅则通过电容耦合实现对存储单元的读写操作。这种结构可使电子隧穿效应发生在更精确的物理位置,从而提高器件的数据保持能力。
材料选择上,现代叠层栅已发展出金属-多晶硅混合结构(如TiN/W/SiON),通过功函数工程优化阈值电压稳定性。国际半导体技术路线图(ITRS)指出,该结构可将单元尺寸微缩至15nm以下,同时维持10年以上的数据保持周期。
行业应用方面,铠侠(Kioxia)在3D NAND闪存中采用112层堆叠栅结构,使存储密度达到1.33Tb/in²。美国电气电子工程师学会(IEEE)的测试数据显示,这种设计使擦写耐久性提升至10次循环,较平面结构提升两个数量级。
“叠层栅”是电子器件领域的专业术语,主要指由多层材料堆叠形成的栅极结构,常见于半导体器件(如晶体管)中。以下是详细解释:
基本定义
叠层栅(stack gate),指将不同介电材料或导电材料分层叠加形成的复合栅极结构。这种设计常用于优化器件性能,例如提高介电常数或增强可靠性。
技术特点
应用场景
主要应用于柔性薄膜晶体管、超薄栅介质器件等领域,通过叠层栅结构提升器件在低电压下的稳定性和效率。
相关扩展
“栅”在电子学中多指电极(如栅极),而在其他语境中也可表示阻拦物(如栅栏)。叠层栅属于专业术语,日常使用较少。
如需进一步了解叠层栅的具体参数或实验数据,可参考半导体器件相关学术文献或工程手册。
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