
【化】 IMMA; ion microprobe mass analyzer
ion
【化】 ion
【醫】 ion
bougie; probe; stylet
【計】 needle
【化】 probe
【醫】 probe
【化】 mass analyzer
離子探針質量分析器(Ion Microprobe Mass Analyzer)是一種基于二次離子質譜(SIMS)技術的高精度分析儀器,主要用于固體樣品表面微區元素及同位素組成的定量檢測。其核心原理是通過聚焦的初級離子束轟擊樣品表面,激發出二次離子,再通過質量分析器對二次離子進行質荷比分離與檢測。
該設備包含三個關鍵模塊:
在應用層面,離子探針質量分析器被廣泛應用于地質年代學(如锆石U-Pb定年)、半導體材料缺陷分析、核燃料循環監測等領域。例如,美國地質調查局(USGS)采用Cameca IMS系列設備進行月岩樣品同位素研究,其數據精度可達±0.1%相對标準偏差。
權威技術參數可參考國際純粹與應用化學聯合會(IUPAC)發布的《質譜術語标準》(https://doi.org/10.1351/goldbook.M03726),而操作規範詳見ASTM E1508标準(https://www.astm.org/e1508-22.html)。
離子探針質量分析器是離子探針質量顯微分析儀的核心組件之一,主要用于按質荷比(m/z)分離二次離子,實現元素和同位素的高靈敏度檢測。以下為詳細解釋:
離子探針質量分析器基于質譜技術,通過電磁場對二次離子進行篩選。其原理是:當高能一次離子束轟擊樣品表面時,濺射出二次離子,這些離子經加速後進入質量分析器,根據其質荷比差異被分離。分離後的離子通過檢測器記錄強度,進而确定元素種類、含量及分布。
質荷比分離
質量分析器通過磁場或電場将不同m/z的離子按軌迹分離。例如,質量分辨率為$Delta m/m$,可區分質量相近的離子(如同位素)。
高靈敏度檢測
絕對靈敏度達$10^{-15}$~$10^{-19}$克,可檢測$10^{-6}$~$10^{-9}$原子濃度的痕量元素。
空間分辨能力
橫向分辨率1~2微米,深度分辨率50~100埃,支持三維成分分析。
質量分析器通常與以下系統協同工作:
總結來看,離子探針質量分析器通過高精度質譜分離技術,實現了微區痕量成分的定性與定量分析,是材料科學、地質學等領域的重要工具。
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