
【計】 planar transistor
flat; plane; surface
【醫】 flat; plane; planum
transistor
【計】 MOS transistor; npn
【化】 transistor
平面晶體管(Planar Transistor)是一種采用平面制造工藝的半導體器件,其核心結構通過光刻技術在矽片表面平面上制作而成。以下是基于電子工程術語的詳細解釋:
平面(Planar)
指晶體管的有源區域(如發射極、基極、集電極)均在同一矽片表面層内橫向排布,通過氧化層隔離實現電氣絕緣。區别于早期台面晶體管(Mesa Transistor)的垂直刻蝕結構,平面工藝大幅提升了器件的可靠性和集成密度 。
晶體管(Transistor)
作為三端半導體器件,通過基極電流控制集電極-發射極間電流,實現信號放大或開關功能。平面晶體管主要包括雙極型(BJT)和金屬氧化物半導體型(MOSFET)兩類 。
氧化層鈍化技術
矽表面熱生長二氧化矽(SiO₂)層,保護PN結免受污染并減少表面漏電流。此技術由貝爾實驗室于1959年首創,成為現代集成電路的基礎 。 $$ ce{Si + O2 ->[Delta] SiO2} $$
光刻與離子注入
通過光刻膠掩模定義區域,結合離子注入或擴散工藝選擇性摻雜矽,形成精确的P型/N型區。例如:
平面結構避免台面晶體管的邊緣暴露問題,氧化層鈍化顯著降低環境因素導緻的失效風險。
兼容光刻工藝,支持晶圓級批量制造,為集成電路(IC)發展奠定基礎 。
精确控制摻雜濃度與結深,降低寄生電容,提升開關速度與頻率響應(如早期平面BJT的$f_T$可達數百MHz)。
詳述平面工藝的物理原理與制造流程。
技術文檔《Planar Technology History》收錄于IEEE Xplore。
原始專利US3025589A (1962年) 描述平面晶體管制造方法。
(注:因搜索結果未提供具體網頁鍊接,此處引用經典文獻與學術機構作為權威來源)
平面晶體管是指采用平面工藝制造的晶體管,其核心特征在于芯片表面基本平坦(實際可能存在台階),區别于傳統台面晶體管的凸起結構。以下是關鍵解析:
1. 工藝與結構特性
2. 性能優勢
3. 應用背景
對比說明:與早期台面晶體管相比,平面結構更利于集成化生産,但表面台階可能影響後續多層布線工藝,需通過化學機械抛光等技術優化。
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