
【计】 planar transistor
flat; plane; surface
【医】 flat; plane; planum
transistor
【计】 MOS transistor; npn
【化】 transistor
平面晶体管(Planar Transistor)是一种采用平面制造工艺的半导体器件,其核心结构通过光刻技术在硅片表面平面上制作而成。以下是基于电子工程术语的详细解释:
平面(Planar)
指晶体管的有源区域(如发射极、基极、集电极)均在同一硅片表面层内横向排布,通过氧化层隔离实现电气绝缘。区别于早期台面晶体管(Mesa Transistor)的垂直刻蚀结构,平面工艺大幅提升了器件的可靠性和集成密度 。
晶体管(Transistor)
作为三端半导体器件,通过基极电流控制集电极-发射极间电流,实现信号放大或开关功能。平面晶体管主要包括双极型(BJT)和金属氧化物半导体型(MOSFET)两类 。
氧化层钝化技术
硅表面热生长二氧化硅(SiO₂)层,保护PN结免受污染并减少表面漏电流。此技术由贝尔实验室于1959年首创,成为现代集成电路的基础 。 $$ ce{Si + O2 ->[Delta] SiO2} $$
光刻与离子注入
通过光刻胶掩模定义区域,结合离子注入或扩散工艺选择性掺杂硅,形成精确的P型/N型区。例如:
平面结构避免台面晶体管的边缘暴露问题,氧化层钝化显著降低环境因素导致的失效风险。
兼容光刻工艺,支持晶圆级批量制造,为集成电路(IC)发展奠定基础 。
精确控制掺杂浓度与结深,降低寄生电容,提升开关速度与频率响应(如早期平面BJT的$f_T$可达数百MHz)。
详述平面工艺的物理原理与制造流程。
技术文档《Planar Technology History》收录于IEEE Xplore。
原始专利US3025589A (1962年) 描述平面晶体管制造方法。
(注:因搜索结果未提供具体网页链接,此处引用经典文献与学术机构作为权威来源)
平面晶体管是指采用平面工艺制造的晶体管,其核心特征在于芯片表面基本平坦(实际可能存在台阶),区别于传统台面晶体管的凸起结构。以下是关键解析:
1. 工艺与结构特性
2. 性能优势
3. 应用背景
对比说明:与早期台面晶体管相比,平面结构更利于集成化生产,但表面台阶可能影响后续多层布线工艺,需通过化学机械抛光等技术优化。
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