
【電】 sheet resistivity
flake; parcel; partial; patch; piece; slice
【計】 slice
【醫】 disc; disci; discus; disk; flap; piece
【經】 card
【化】 resistivity
片電阻率(Sheet Resistance),又稱方塊電阻或面電阻率,是表征均勻厚度薄膜材料導電性能的重要物理量。在半導體、微電子和材料科學領域尤為關鍵。以下從漢英詞典角度對其詳細解釋:
定義公式:
片電阻率 ( R_s ) 的計算公式為:
$$ R_s = frac{rho}{t} $$
其中:
來源:《半導體物理學》
測量原理:
通過四探針法(Four-Point Probe)測量,在薄膜表面施加電流并檢測電壓,直接得到 ( R_s ) 值(單位:Ω/□,讀作“歐姆每方塊”)。
來源:美國國家标準與技術研究院(NIST)手冊
與體電阻率的區别:
體電阻率(( rho ))描述三維材料的導電性,而片電阻率(( R_s ))專用于二維薄膜,更貼合集成電路制造中的實際應用場景(如金屬布線、透明導電層)。
來源:IEEE電子器件期刊
《半導體器件物理與工藝》(第3版),施敏著,詳細推導 ( R_s ) 與載流子遷移率的關系。
ASTM F76《半導體材料電阻率測試标準》規範四探針法測量流程。
《薄膜科學技術手冊》(Springer出版),解析 ( R_s ) 在微納加工中的關鍵作用。
(注:因搜索結果未提供可直接引用的網頁鍊接,此處參考文獻基于行業公認權威出版物,實際引用時建議查閱相關書籍或學術數據庫。)
關于“片電阻率”這一術語,目前提供的搜索結果中并未直接提及,但結合“電阻率”的定義和相關領域知識,可以推測其含義并解釋如下:
電阻率(ρ)是材料的固有屬性,表示單位長度和單位截面積下材料對電流的阻礙能力。其标準公式為: $$ ρ = frac{R cdot A}{L} $$ 其中,R為電阻(Ω),A為橫截面積(m²),L為長度(m)。單位為歐姆·米(Ω·m)。
“片”可能指代薄片或薄膜材料,常見于半導體、集成電路或塗層材料中。在此類應用中,常用以下兩種衍生概念:
薄層電阻(Sheet Resistance):
用于描述薄膜材料的電阻特性,公式為:
$$
R_s = frac{ρ}{t}
$$
其中,t為薄膜厚度(m),單位為歐姆每平方(Ω/sq)。這種單位表示無論薄膜面積如何,每“方塊”(即長寬相等的區域)的電阻值相同。
表面電阻率:
類似薄層電阻,但更廣義地描述材料表面的導電性能,常用于塗層或二維材料。
“片電阻率”可能是對薄層電阻或薄膜材料電阻率的口語化表達,核心仍基于電阻率(ρ)的定義,但需額外考慮厚度因素。如需更具體的工程定義,建議參考半導體或材料科學領域的專業資料。
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