
【电】 sheet resistivity
flake; parcel; partial; patch; piece; slice
【计】 slice
【医】 disc; disci; discus; disk; flap; piece
【经】 card
【化】 resistivity
片电阻率(Sheet Resistance),又称方块电阻或面电阻率,是表征均匀厚度薄膜材料导电性能的重要物理量。在半导体、微电子和材料科学领域尤为关键。以下从汉英词典角度对其详细解释:
定义公式:
片电阻率 ( R_s ) 的计算公式为:
$$ R_s = frac{rho}{t} $$
其中:
来源:《半导体物理学》
测量原理:
通过四探针法(Four-Point Probe)测量,在薄膜表面施加电流并检测电压,直接得到 ( R_s ) 值(单位:Ω/□,读作“欧姆每方块”)。
来源:美国国家标准与技术研究院(NIST)手册
与体电阻率的区别:
体电阻率(( rho ))描述三维材料的导电性,而片电阻率(( R_s ))专用于二维薄膜,更贴合集成电路制造中的实际应用场景(如金属布线、透明导电层)。
来源:IEEE电子器件期刊
《半导体器件物理与工艺》(第3版),施敏著,详细推导 ( R_s ) 与载流子迁移率的关系。
ASTM F76《半导体材料电阻率测试标准》规范四探针法测量流程。
《薄膜科学技术手册》(Springer出版),解析 ( R_s ) 在微纳加工中的关键作用。
(注:因搜索结果未提供可直接引用的网页链接,此处参考文献基于行业公认权威出版物,实际引用时建议查阅相关书籍或学术数据库。)
关于“片电阻率”这一术语,目前提供的搜索结果中并未直接提及,但结合“电阻率”的定义和相关领域知识,可以推测其含义并解释如下:
电阻率(ρ)是材料的固有属性,表示单位长度和单位截面积下材料对电流的阻碍能力。其标准公式为: $$ ρ = frac{R cdot A}{L} $$ 其中,R为电阻(Ω),A为横截面积(m²),L为长度(m)。单位为欧姆·米(Ω·m)。
“片”可能指代薄片或薄膜材料,常见于半导体、集成电路或涂层材料中。在此类应用中,常用以下两种衍生概念:
薄层电阻(Sheet Resistance):
用于描述薄膜材料的电阻特性,公式为:
$$
R_s = frac{ρ}{t}
$$
其中,t为薄膜厚度(m),单位为欧姆每平方(Ω/sq)。这种单位表示无论薄膜面积如何,每“方块”(即长宽相等的区域)的电阻值相同。
表面电阻率:
类似薄层电阻,但更广义地描述材料表面的导电性能,常用于涂层或二维材料。
“片电阻率”可能是对薄层电阻或薄膜材料电阻率的口语化表达,核心仍基于电阻率(ρ)的定义,但需额外考虑厚度因素。如需更具体的工程定义,建议参考半导体或材料科学领域的专业资料。
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