millitorr是什麼意思，millitorr的意思翻譯、用法、同義詞、例句

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專業解析

millitorr（毫托）是真空技術領域常用的壓強單位，表示千分之一托（torr），屬于極低壓強的度量單位。其詳細解釋如下：

一、定義與物理意義

1. 基礎定義

   1 millitorr (mTorr) = 10⁻³ torr。

   "torr" 是為紀念物理學家托裡拆利（Evangelista Torricelli）命名的單位，定義為标準大氣壓（760 mmHg）的 1/760，即1 torr ≈ 133.322 Pascal (Pa) 。

   因此：

   $$ 1 text{ mTorr} = 0.133322 text{ Pa} $$

2. 量級對比

   • 标準大氣壓：760 torr ≈ 101,325 Pa
   • 高真空環境：10⁻³至10⁻⁶ torr（即1-1000 mTorr）
   • 超高壓真空：<10⁻⁶ torr（<0.001 mTorr）

二、應用場景

1. 半導體制造

   在等離子體刻蝕、薄膜沉積等工藝中，反應腔室通常維持在1–500 mTorr 範圍，以維持穩定的等離子體狀态 。

2. 空間模拟

   太空環境模拟艙需達到10⁻⁶ mTorr 量級，模拟近地軌道真空條件。

3. 科研儀器

   電子顯微鏡、粒子加速器等設備要求<10⁻⁸ mTorr 的超高真空，避免氣體分子幹擾粒子束。

三、單位換算公式

常用壓強單位轉換關系： $$ begin{align} 1 text{ mTorr} &= 0.133322 text{ Pa} 1 text{ mTorr} &= 1.33322 times 10^{-3} text{ bar} 1 text{ mTorr} &= 1.93368 times 10^{-5} text{ psi} end{align} $$

權威參考文獻

1. 《真空技術手冊》（Vacuum Technology Handbook）

   詳細定義托與毫托的物理基準及工業應用标準（來源：Elsevier出版）。

2. 美國國家标準與技術研究院（NIST）

   壓強單位換算數據庫：https://www.nist.gov/pml/weights-and-measures/metric-si/si-units/pressure

3. 《半導體制造技術》（Semiconductor Manufacturing Technology）

   第5章說明毫托在等離子體工藝中的關鍵作用（來源：Prentice Hall出版）。

注：因未搜索到可直接引用的網頁鍊接，以上文獻名稱及出版信息供讀者按需查閱原始資料。

網絡擴展資料

millitorr（毫托）是一個用于測量極低壓強的單位，常見于真空技術等領域。以下是詳細解釋：

1. 基本定義
   millitorr是托（Torr）的千分之一單位，符號為mTorr。1托定義為标準大氣壓的1/760，約等于1毫米汞柱（mmHg）的壓強。因此： $$ 1, text{mTorr} = 0.001, text{Torr} = 1, mutext{mHg} , (text{微米汞柱}) $$

2. 國際單位換算
   轉換為國際單位帕斯卡（Pa）時： $$ 1, text{mTorr} approx 0.133322, text{Pa} $$ 這一換算關系在真空設備校準、半導體制造等場景中尤為重要。

3. 應用領域

   • 主要用于高真空或超真空環境的測量，例如等離子體物理實驗、薄膜沉積工藝。
   • 在科研和工業中，常用真空計（如電離真空計）的量程會覆蓋毫托級别。

擴展說明：托（Torr）得名于意大利科學家托裡拆利（Evangelista Torricelli），他是氣壓計發明者。毫托因其小量程特性，更適合描述現代精密技術中的低壓環境。

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