millitorr是什么意思，millitorr的意思翻译、用法、同义词、例句

常用词典

例句

专业解析

millitorr（毫托）是真空技术领域常用的压强单位，表示千分之一托（torr），属于极低压强的度量单位。其详细解释如下：

一、定义与物理意义

1. 基础定义

   1 millitorr (mTorr) = 10⁻³ torr。

   "torr" 是为纪念物理学家托里拆利（Evangelista Torricelli）命名的单位，定义为标准大气压（760 mmHg）的 1/760，即1 torr ≈ 133.322 Pascal (Pa) 。

   因此：

   $$ 1 text{ mTorr} = 0.133322 text{ Pa} $$

2. 量级对比

   • 标准大气压：760 torr ≈ 101,325 Pa
   • 高真空环境：10⁻³至10⁻⁶ torr（即1-1000 mTorr）
   • 超高压真空：<10⁻⁶ torr（<0.001 mTorr）

二、应用场景

1. 半导体制造

   在等离子体刻蚀、薄膜沉积等工艺中，反应腔室通常维持在1–500 mTorr 范围，以维持稳定的等离子体状态 。

2. 空间模拟

   太空环境模拟舱需达到10⁻⁶ mTorr 量级，模拟近地轨道真空条件。

3. 科研仪器

   电子显微镜、粒子加速器等设备要求<10⁻⁸ mTorr 的超高真空，避免气体分子干扰粒子束。

三、单位换算公式

常用压强单位转换关系： $$ begin{align} 1 text{ mTorr} &= 0.133322 text{ Pa} 1 text{ mTorr} &= 1.33322 times 10^{-3} text{ bar} 1 text{ mTorr} &= 1.93368 times 10^{-5} text{ psi} end{align} $$

权威参考文献

1. 《真空技术手册》（Vacuum Technology Handbook）

   详细定义托与毫托的物理基准及工业应用标准（来源：Elsevier出版）。

2. 美国国家标准与技术研究院（NIST）

   压强单位换算数据库：https://www.nist.gov/pml/weights-and-measures/metric-si/si-units/pressure

3. 《半导体制造技术》（Semiconductor Manufacturing Technology）

   第5章说明毫托在等离子体工艺中的关键作用（来源：Prentice Hall出版）。

注：因未搜索到可直接引用的网页链接，以上文献名称及出版信息供读者按需查阅原始资料。

网络扩展资料

millitorr（毫托）是一个用于测量极低压强的单位，常见于真空技术等领域。以下是详细解释：

1. 基本定义
   millitorr是托（Torr）的千分之一单位，符号为mTorr。1托定义为标准大气压的1/760，约等于1毫米汞柱（mmHg）的压强。因此： $$ 1, text{mTorr} = 0.001, text{Torr} = 1, mutext{mHg} , (text{微米汞柱}) $$

2. 国际单位换算
   转换为国际单位帕斯卡（Pa）时： $$ 1, text{mTorr} approx 0.133322, text{Pa} $$ 这一换算关系在真空设备校准、半导体制造等场景中尤为重要。

3. 应用领域

   • 主要用于高真空或超真空环境的测量，例如等离子体物理实验、薄膜沉积工艺。
   • 在科研和工业中，常用真空计（如电离真空计）的量程会覆盖毫托级别。

扩展说明：托（Torr）得名于意大利科学家托里拆利（Evangelista Torricelli），他是气压计发明者。毫托因其小量程特性，更适合描述现代精密技术中的低压环境。

别人正在浏览的英文单词...

【别人正在浏览】