
【化】 high-voltage glow-discharge ion source
high-handed; high pressure; high voltage
【医】 high tension; hyperpiesia; hyperpiesis
【化】 glow discharge
【化】 ion source
【医】 source ion
高压辉光放电离子源(High-Voltage Glow Discharge Ion Source)是一种通过高压电场激发气体介质产生稳定辉光放电,从而电离气体分子或原子形成离子束的装置。其核心原理基于气体放电物理:当两极间施加数千伏高压时,残余气体分子被电离形成等离子体,电子在电场加速下与中性粒子碰撞,引发链式电离反应,形成自持放电现象。
该技术的关键参数包括放电电压(通常为1-5 kV)、气体压强(10⁻²-10 Pa量级)以及电极几何结构。根据《等离子体源技术手册》记载,其离子束流密度可达10⁻⁶-10⁻³ A/cm²,适用于表面分析仪器的离子轰击清洗。相较于热阴极离子源,高压辉光放电结构无需加热组件,具有启动快速、维护简便的优势,因此在X射线光电子能谱(XPS)和二次离子质谱(SIMS)等超高真空系统中广泛应用。
现代改进型装置采用脉冲调制技术,通过控制放电占空比(通常为1-10%),可将工作压强扩展至10⁻⁴ Pa范围,同时减少样品热损伤风险。该技术细节在美国真空学会期刊《Journal of Vacuum Science & Technology A》中有详细论述。
辉光放电离子源是辉光放电质谱(GDMS)的核心组件,其核心原理是通过高压电场激发惰性气体产生等离子体,实现样品的溅射和电离。以下是具体解析:
高压辉光放电离子源通过高电压驱动低气压气体放电,实现高效溅射和电离,兼具灵敏度高、基体效应低的优势,是固体直接分析的关键技术。
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