
【电】 thin-film material
film; membrane; pellicle
【计】 thin membrane; thin-film
【医】 film
data; datum; ******s; material; stuff
【医】 data; datum; material; stock
【经】 material; materials; spoilage
薄膜材料(Thin Film Materials)指在基底表面通过物理或化学方法沉积形成的厚度在纳米至微米量级的二维材料层。其核心特征包括:
通常为几纳米到几微米(1 nm–100 μm),远小于横向尺寸,需借助电子显微镜等精密仪器测量。其物理化学性质(如电导率、光学透射率)与块体材料存在显著差异 。
包括物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、溶胶-凝胶法等,通过原子/分子级堆叠实现结构可控性 。
用于增透膜、反射镜涂层(如望远镜镜面),通过干涉效应调控光传播路径。例如,MgF₂薄膜可减少镜头反射损失 。
构成集成电路的导电层(铜薄膜)与绝缘层(SiO₂薄膜),微型化芯片依赖其介电与半导体特性 。
太阳能电池中的吸光层(如CIGS薄膜)、燃料电池的催化涂层,提升能量转换效率 。
定义薄膜为"厚度远小于其他维度的材料层",强调其表面效应主导性(来源:IUPAC Gold Book)。
指出薄膜的力学性能受界面结合强度影响,需特殊表征方法(来源:NIST Thin Film Materials)。
中文术语 | 英文术语 |
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薄膜材料 | Thin Film Materials |
物理气相沉积 | Physical Vapor Deposition (PVD) |
化学气相沉积 | Chemical Vapor Deposition (CVD) |
表面效应 | Surface-Dominated Effects |
薄膜材料是一种具有特殊厚度范围的材料,其定义、分类和特性如下:
薄膜材料通常指厚度介于单原子层到几微米之间的薄层材料,科学上定义为由原子、分子或离子在基片表面沉积形成的二维材料。根据应用场景,其厚度范围有所不同:
按结构类型
按成分与用途
常用技术包括:
如需更完整的分类或制备工艺细节,可参考来源网页(如、3、5、6)。
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