
【電】 thin-film material
film; membrane; pellicle
【計】 thin membrane; thin-film
【醫】 film
data; datum; ******s; material; stuff
【醫】 data; datum; material; stock
【經】 material; materials; spoilage
薄膜材料(Thin Film Materials)指在基底表面通過物理或化學方法沉積形成的厚度在納米至微米量級的二維材料層。其核心特征包括:
通常為幾納米到幾微米(1 nm–100 μm),遠小于橫向尺寸,需借助電子顯微鏡等精密儀器測量。其物理化學性質(如電導率、光學透射率)與塊體材料存在顯著差異 。
包括物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)、溶膠-凝膠法等,通過原子/分子級堆疊實現結構可控性 。
用于增透膜、反射鏡塗層(如望遠鏡鏡面),通過幹涉效應調控光傳播路徑。例如,MgF₂薄膜可減少鏡頭反射損失 。
構成集成電路的導電層(銅薄膜)與絕緣層(SiO₂薄膜),微型化芯片依賴其介電與半導體特性 。
太陽能電池中的吸光層(如CIGS薄膜)、燃料電池的催化塗層,提升能量轉換效率 。
定義薄膜為"厚度遠小于其他維度的材料層",強調其表面效應主導性(來源:IUPAC Gold Book)。
指出薄膜的力學性能受界面結合強度影響,需特殊表征方法(來源:NIST Thin Film Materials)。
中文術語 | 英文術語 |
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薄膜材料 | Thin Film Materials |
物理氣相沉積 | Physical Vapor Deposition (PVD) |
化學氣相沉積 | Chemical Vapor Deposition (CVD) |
表面效應 | Surface-Dominated Effects |
薄膜材料是一種具有特殊厚度範圍的材料,其定義、分類和特性如下:
薄膜材料通常指厚度介于單原子層到幾微米之間的薄層材料,科學上定義為由原子、分子或離子在基片表面沉積形成的二維材料。根據應用場景,其厚度範圍有所不同:
按結構類型
按成分與用途
常用技術包括:
如需更完整的分類或制備工藝細節,可參考來源網頁(如、3、5、6)。
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