
【计】 isoplanar integrated injection logic
等平面注入逻辑电路(Planar Injection Logic Circuit)是半导体制造中的关键技术,结合了等平面工艺与注入逻辑技术,用于制造高性能集成电路。以下是详细解释:
等平面(Planar)
指芯片表面平坦化的制造工艺,通过化学机械抛光(CMP)消除表面起伏,确保后续光刻和薄膜沉积的精度。该技术由罗伯特·诺伊斯在1959年发明,是现代集成电路的基础。
注入(Injection)
即离子注入(Ion Implantation),将高能离子(如硼、磷)注入硅衬底,精确控制掺杂浓度以形成晶体管源/漏区。其掺杂浓度公式为:
$$ N(x) = N_0 expleft(-frac{(x-R_p)}{2Delta R_p}right) $$
其中 ( R_p ) 为投射射程,( Delta R_p ) 为标准偏差。
逻辑电路(Logic Circuit)
通过晶体管组合实现布尔运算的电路,注入逻辑特指利用载流子注入原理构建的高速开关电路,常见于ECL(发射极耦合逻辑)等低延迟设计中。
主要用于高频、抗辐射领域,如:
权威参考文献:
“等平面注入逻辑电路”是一个涉及半导体工艺和集成电路设计的复合术语,需拆解分析:
1. 等平面(Isoplanar)
指集成电路制造中的一种工艺技术,通过化学机械抛光(CMP)等步骤,使芯片表面各层结构保持平坦化。这种技术可减少光刻误差,提升器件密度和性能。
2. 注入(Ion Implantation)
即离子注入,是半导体掺杂的关键工艺。通过高能离子束轰击硅片,改变特定区域的电学特性(如形成PN结)。其优势包括精确控制掺杂浓度和深度。
3. 逻辑电路(Logic Circuit)
由晶体管(如CMOS结构)构成,用于实现与、或、非等逻辑功能的电路,常见于CPU、存储器等芯片的核心模块。
整合含义
“等平面注入逻辑电路”指采用等平面工艺制造的逻辑电路,其中通过离子注入技术精确控制晶体管掺杂区域。这种组合工艺能实现更高集成度、更低功耗和更稳定的电路性能,广泛应用于现代纳米级芯片制造。
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