
【計】 isoplanar integrated injection logic
等平面注入邏輯電路(Planar Injection Logic Circuit)是半導體制造中的關鍵技術,結合了等平面工藝與注入邏輯技術,用于制造高性能集成電路。以下是詳細解釋:
等平面(Planar)
指芯片表面平坦化的制造工藝,通過化學機械抛光(CMP)消除表面起伏,确保後續光刻和薄膜沉積的精度。該技術由羅伯特·諾伊斯在1959年發明,是現代集成電路的基礎。
注入(Injection)
即離子注入(Ion Implantation),将高能離子(如硼、磷)注入矽襯底,精确控制摻雜濃度以形成晶體管源/漏區。其摻雜濃度公式為:
$$ N(x) = N_0 expleft(-frac{(x-R_p)}{2Delta R_p}right) $$
其中 ( R_p ) 為投射射程,( Delta R_p ) 為标準偏差。
邏輯電路(Logic Circuit)
通過晶體管組合實現布爾運算的電路,注入邏輯特指利用載流子注入原理構建的高速開關電路,常見于ECL(發射極耦合邏輯)等低延遲設計中。
主要用于高頻、抗輻射領域,如:
權威參考文獻:
“等平面注入邏輯電路”是一個涉及半導體工藝和集成電路設計的複合術語,需拆解分析:
1. 等平面(Isoplanar)
指集成電路制造中的一種工藝技術,通過化學機械抛光(CMP)等步驟,使芯片表面各層結構保持平坦化。這種技術可減少光刻誤差,提升器件密度和性能。
2. 注入(Ion Implantation)
即離子注入,是半導體摻雜的關鍵工藝。通過高能離子束轟擊矽片,改變特定區域的電學特性(如形成PN結)。其優勢包括精确控制摻雜濃度和深度。
3. 邏輯電路(Logic Circuit)
由晶體管(如CMOS結構)構成,用于實現與、或、非等邏輯功能的電路,常見于CPU、存儲器等芯片的核心模塊。
整合含義
“等平面注入邏輯電路”指采用等平面工藝制造的邏輯電路,其中通過離子注入技術精确控制晶體管摻雜區域。這種組合工藝能實現更高集成度、更低功耗和更穩定的電路性能,廣泛應用于現代納米級芯片制造。
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