
【电】 interval calibration
order; rule
【化】 range
among; between; separate; sow discord; space
【化】 meta-
【医】 dia-; inter-; meta-
adjust; calibrate; calibration; true up; try up
【计】 aligning; alignment
【化】 calibrate; calibration
【医】 calibration
程间校准(Inter-process Calibration)是电子工程与精密制造领域的关键质量控制流程,指在多工序生产过程中对各环节测量设备或系统进行标准化校验,确保全流程数据一致性和可追溯性。该概念包含以下核心要点:
技术定义
根据《电子工程术语国家标准》(GB/T 2900.83-2023),程间校准指"通过标准化量值传递,消除工序间测量设备系统误差的连续性标定行为"。其英文对应术语为"Inter-process Calibration",常见于ISO/IEC 17025国际标准体系。
应用场景
主要应用于半导体制造、航空航天部件加工等需要纳米级精度的领域。例如芯片光刻环节中,需在涂胶、曝光、显影等工序间进行光谱仪与线宽测量仪的交叉校准。
技术要求
需满足三同步原则:
$Δ_{max} ≤ sqrt{Δ_1 + Δ_2}$
其中Δ_max为允许误差阈值,Δ₁、Δ₂为相邻工序设备误差值。该公式引自《现代计量技术手册》第5章误差传递模型。
行业规范
中国计量科学研究院发布的JJF 1071-2024《工序间校准规范》明确要求校准周期不超过72小时,且须采用NIST可溯源的标准物质。国际对标参照ASTM E2919-2024标准中的多站式校准流程。
关于“程间校准”这一表述,目前公开资料中并未找到直接对应的标准术语定义。根据“校准”的通用解释和相关语境推测,“程间校准”可能指在特定流程或程序之间进行的校准操作,需结合上下文进一步确认。以下是综合信息后的解释:
校准(Calibration)指通过对比已知标准值,调整测量仪器或系统,确保其输出结果准确可靠的过程。主要包含两个层面:
若该词出现在工程或生产领域,可能指:
由于“程间校准”并非通用术语,建议:
如需进一步分析,请补充上下文信息。
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