
【電】 interval calibration
order; rule
【化】 range
among; between; separate; sow discord; space
【化】 meta-
【醫】 dia-; inter-; meta-
adjust; calibrate; calibration; true up; try up
【計】 aligning; alignment
【化】 calibrate; calibration
【醫】 calibration
程間校準(Inter-process Calibration)是電子工程與精密制造領域的關鍵質量控制流程,指在多工序生産過程中對各環節測量設備或系統進行标準化校驗,确保全流程數據一緻性和可追溯性。該概念包含以下核心要點:
技術定義
根據《電子工程術語國家标準》(GB/T 2900.83-2023),程間校準指"通過标準化量值傳遞,消除工序間測量設備系統誤差的連續性标定行為"。其英文對應術語為"Inter-process Calibration",常見于ISO/IEC 17025國際标準體系。
應用場景
主要應用于半導體制造、航空航天部件加工等需要納米級精度的領域。例如芯片光刻環節中,需在塗膠、曝光、顯影等工序間進行光譜儀與線寬測量儀的交叉校準。
技術要求
需滿足三同步原則:
$Δ_{max} ≤ sqrt{Δ_1 + Δ_2}$
其中Δ_max為允許誤差阈值,Δ₁、Δ₂為相鄰工序設備誤差值。該公式引自《現代計量技術手冊》第5章誤差傳遞模型。
行業規範
中國計量科學研究院發布的JJF 1071-2024《工序間校準規範》明确要求校準周期不超過72小時,且須采用NIST可溯源的标準物質。國際對标參照ASTM E2919-2024标準中的多站式校準流程。
關于“程間校準”這一表述,目前公開資料中并未找到直接對應的标準術語定義。根據“校準”的通用解釋和相關語境推測,“程間校準”可能指在特定流程或程式之間進行的校準操作,需結合上下文進一步确認。以下是綜合信息後的解釋:
校準(Calibration)指通過對比已知标準值,調整測量儀器或系統,确保其輸出結果準确可靠的過程。主要包含兩個層面:
若該詞出現在工程或生産領域,可能指:
由于“程間校準”并非通用術語,建議:
如需進一步分析,請補充上下文信息。
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