超净气体英文解释翻译、超净气体的近义词、反义词、例句

英语翻译：

【计】 hyperpure gas

分词翻译：

超的英语翻译：

exceed; go beyond; overtake
【计】 hyperactive
【医】 per-; ultra-

净的英语翻译：

clean; completely; net; only
【经】 net

气体的英语翻译：

gas
【化】 gas
【医】 gas; pneuma-; pneumato-

专业解析

超净气体（Ultra-Clean Gas）指经过精密工艺处理、杂质含量极低的气体，其微粒浓度和化学污染物需达到特定行业标准。该概念在工业生产和科研领域具有严格定义，主要应用于半导体制造、生物医药洁净室等高精度场景。

根据国际标准化组织（ISO）的工业气体标准，超净气体需满足以下核心指标：

1. 微粒控制：粒径＞0.1μm的颗粒物浓度低于1个/立方英尺（ISO 14644-1 Class 1标准）
2. 化学纯度：总杂质含量＜1ppb（十亿分之一），常见检测项目包括氧、水分、碳氢化合物等
3. 稳定性保障：需通过气相色谱-质谱联用（GC-MS）等分析技术实现实时监控

在半导体行业，超净气体用于光刻机保护气时，要求露点温度≤-76℃以防止晶圆氧化（参考SEMI F21-1102标准）。美国国家标准与技术研究院（NIST）的研究表明，气体洁净度直接影响芯片良品率，每提升一个纯度等级可使缺陷率降低12%-15%。

网络扩展解释

超净气体是指具有超高纯度且杂质含量极低的气体，主要用于对洁净度要求极高的工业或科研领域。以下是其核心要点：

1.定义与特性

• 超高纯度：纯度通常达到99.99%以上，杂质以ppm（百万分之一）或ppb（十亿分之一）计量。
• 物理化学稳定性：不易与其他物质反应，确保输送和使用过程中的可靠性。
• 安全性：无毒无害，符合环保要求，适用于对环境和人体敏感的领域。

2.主要应用领域

• 微电子产业：如集成电路、太阳能光伏电池、显示器面板制造，用于工艺气体或保护气体。
• 科研与尖端技术：如半导体材料研发、精密仪器保护等。
• 医药与化工：作为高纯度原料或反应介质。

3.常见气体种类

• 高纯大宗气体：如高纯氧、氢、氦、氮等。
• 特种工艺气体：如硅烷（SiH₄）、磷烷（PH₃）、砷烷（AsH₃）、氯化氢（HCl）等。

4.输送与管控要求

需通过超净管道系统输送，避免污染，系统需满足密封性、耐腐蚀性及材料兼容性等严苛标准。

若需进一步了解具体气体参数或行业标准，可参考权威工程规范或微电子行业技术文档。

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