超淨氣體英文解釋翻譯、超淨氣體的近義詞、反義詞、例句

英語翻譯：

【計】 hyperpure gas

分詞翻譯：

超的英語翻譯：

exceed; go beyond; overtake
【計】 hyperactive
【醫】 per-; ultra-

淨的英語翻譯：

clean; completely; net; only
【經】 net

氣體的英語翻譯：

gas
【化】 gas
【醫】 gas; pneuma-; pneumato-

專業解析

超淨氣體（Ultra-Clean Gas）指經過精密工藝處理、雜質含量極低的氣體，其微粒濃度和化學污染物需達到特定行業标準。該概念在工業生産和科研領域具有嚴格定義，主要應用于半導體制造、生物醫藥潔淨室等高精度場景。

根據國際标準化組織（ISO）的工業氣體标準，超淨氣體需滿足以下核心指标：

1. 微粒控制：粒徑＞0.1μm的顆粒物濃度低于1個/立方英尺（ISO 14644-1 Class 1标準）
2. 化學純度：總雜質含量＜1ppb（十億分之一），常見檢測項目包括氧、水分、碳氫化合物等
3. 穩定性保障：需通過氣相色譜-質譜聯用（GC-MS）等分析技術實現實時監控

在半導體行業，超淨氣體用于光刻機保護氣時，要求露點溫度≤-76℃以防止晶圓氧化（參考SEMI F21-1102标準）。美國國家标準與技術研究院（NIST）的研究表明，氣體潔淨度直接影響芯片良品率，每提升一個純度等級可使缺陷率降低12%-15%。

網絡擴展解釋

超淨氣體是指具有超高純度且雜質含量極低的氣體，主要用于對潔淨度要求極高的工業或科研領域。以下是其核心要點：

1.定義與特性

• 超高純度：純度通常達到99.99%以上，雜質以ppm（百萬分之一）或ppb（十億分之一）計量。
• 物理化學穩定性：不易與其他物質反應，确保輸送和使用過程中的可靠性。
• 安全性：無毒無害，符合環保要求，適用于對環境和人體敏感的領域。

2.主要應用領域

• 微電子産業：如集成電路、太陽能光伏電池、顯示器面闆制造，用于工藝氣體或保護氣體。
• 科研與尖端技術：如半導體材料研發、精密儀器保護等。
• 醫藥與化工：作為高純度原料或反應介質。

3.常見氣體種類

• 高純大宗氣體：如高純氧、氫、氦、氮等。
• 特種工藝氣體：如矽烷（SiH₄）、磷烷（PH₃）、砷烷（AsH₃）、氯化氫（HCl）等。

4.輸送與管控要求

需通過超淨管道系統輸送，避免污染，系統需滿足密封性、耐腐蝕性及材料兼容性等嚴苛标準。

若需進一步了解具體氣體參數或行業标準，可參考權威工程規範或微電子行業技術文檔。

分類

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