溅射离子泵英文解释翻译、溅射离子泵的近义词、反义词、例句

英语翻译：

【化】 sputter ion pump

分词翻译：

溅射的英语翻译：

【计】 sputtering
【化】 sputtering

离子泵的英语翻译：

【化】 ion pump

专业解析

溅射离子泵（Sputter Ion Pump）是一种基于离子轰击和材料溅射原理的高真空获得设备，广泛应用于科学实验、半导体制造及高能物理领域。其核心工作机制包含以下要点：

一、术语定义与汉英对照

• 中文名称：溅射离子泵
• 英文翻译：Sputter Ion Pump
• 发音：/ˈspʌtər ˈaɪən pʌmp/
• 词典释义：通过电场加速气体离子轰击阴极材料，利用溅射效应吸附残余气体分子以维持真空的装置。

二、工作原理

1. 电离与吸附：气体分子在强电场下被电离为离子，轰击钛（Ti）阴极，溅射出的钛原子沉积在阳极表面形成活性薄膜，化学吸附气体分子（如O₂、N₂）。
2. 磁场增强：配合永磁体产生的磁场延长电子运动路径，提高电离效率。
3. 自持循环：溅射材料持续更新吸附层，实现长期稳定抽气。

三、结构组成

• 阴极：钛合金靶材（溅射源）；
• 阳极：不锈钢蜂窝状结构（吸附层载体）；
• 磁体系统：钕铁硼永磁体（约束电子轨迹）。

四、应用场景

1. 超高真空系统：如粒子加速器、表面分析仪器（参考美国国家标准与技术研究院案例；
2. 半导体工艺：晶圆制造中防止氧化污染；
3. 航天测试：模拟太空真空环境。

五、权威参考来源

1. 美国真空学会（AVS）技术手册：https://avs.org/sputter-ion-pump
2. 《真空科学与技术学报》：https://iopscience.iop.org/journal/0022-3735
3. 麻省理工学院真空技术课程资料：http://mit.edu/vacuum/pump-types

（注：以上链接为示例性引用，实际内容需根据可靠来源动态更新。）

网络扩展解释

溅射离子泵（又称潘宁泵）是一种基于潘宁放电原理的清洁无油真空泵，主要用于超高真空环境。以下是其核心要点：

定义与发明背景

• 由Hail等人在1958年发现潘宁放电真空计的抽气作用后发明。
• 通过电场和磁场协同作用电离气体分子，并利用钛溅射形成活性膜吸附气体，实现抽气。

结构与工作原理

1. 基本结构

   • 阳极：不锈钢圆筒或多格结构，形成放电单元。
   • 阴极：钛板，受离子轰击后溅射钛原子。
   • 磁场：垂直于阴极的强磁场（约0.1-0.2 T），约束电子运动路径。

2. 工作过程

   • 电子在交叉电磁场中螺旋运动，与气体碰撞产生离子和二次电子。
   • 离子轰击钛阴极，溅射钛原子沉积在阳极表面形成活性膜，吸附气体分子（如活性气体化学吸附，惰性气体被埋葬）。
   • 氢等轻气体通过扩散进入钛层形成化合物。

优点与缺点

• 优点：
  ① 无油、无振动、低功耗；
  ② 寿命长（钛膜可再生），可烘烤；
  ③ 工作压力范围宽（1~10⁻¹⁰ Pa），极限真空达10⁻¹² mbar。

• 缺点：
  ① 磁铁笨重，体积大；
  ② 对有机蒸气敏感（30分钟油污染即失效）；
  ③ 抽惰性气体时可能出现压力波动。

应用领域

• 科研领域：表面物理、高能加速器、宇宙模拟。
• 工业领域：半导体制造、核工业、高纯金属冶炼。

补充说明

• 需预抽至10⁻¹ Pa以下启动，依赖无油前级泵（如分子筛吸附泵）。
• 改进型通过优化阴极结构（如三极式）提升对惰性气体的抽速。

如需进一步了解具体型号（如3L-50泵）或维护方法，可参考等产品资料。

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