濺射離子泵英文解釋翻譯、濺射離子泵的近義詞、反義詞、例句

英語翻譯：

【化】 sputter ion pump

分詞翻譯：

濺射的英語翻譯：

【計】 sputtering
【化】 sputtering

離子泵的英語翻譯：

【化】 ion pump

專業解析

濺射離子泵（Sputter Ion Pump）是一種基于離子轟擊和材料濺射原理的高真空獲得設備，廣泛應用于科學實驗、半導體制造及高能物理領域。其核心工作機制包含以下要點：

一、術語定義與漢英對照

• 中文名稱：濺射離子泵
• 英文翻譯：Sputter Ion Pump
• 發音：/ˈspʌtər ˈaɪən pʌmp/
• 詞典釋義：通過電場加速氣體離子轟擊陰極材料，利用濺射效應吸附殘餘氣體分子以維持真空的裝置。

二、工作原理

1. 電離與吸附：氣體分子在強電場下被電離為離子，轟擊钛（Ti）陰極，濺射出的钛原子沉積在陽極表面形成活性薄膜，化學吸附氣體分子（如O₂、N₂）。
2. 磁場增強：配合永磁體産生的磁場延長電子運動路徑，提高電離效率。
3. 自持循環：濺射材料持續更新吸附層，實現長期穩定抽氣。

三、結構組成

• 陰極：钛合金靶材（濺射源）；
• 陽極：不鏽鋼蜂窩狀結構（吸附層載體）；
• 磁體系統：钕鐵硼永磁體（約束電子軌迹）。

四、應用場景

1. 超高真空系統：如粒子加速器、表面分析儀器（參考美國國家标準與技術研究院案例；
2. 半導體工藝：晶圓制造中防止氧化污染；
3. 航天測試：模拟太空真空環境。

五、權威參考來源

1. 美國真空學會（AVS）技術手冊：https://avs.org/sputter-ion-pump
2. 《真空科學與技術學報》：https://iopscience.iop.org/journal/0022-3735
3. 麻省理工學院真空技術課程資料：http://mit.edu/vacuum/pump-types

（注：以上鍊接為示例性引用，實際内容需根據可靠來源動态更新。）

網絡擴展解釋

濺射離子泵（又稱潘甯泵）是一種基于潘甯放電原理的清潔無油真空泵，主要用于超高真空環境。以下是其核心要點：

定義與發明背景

• 由Hail等人在1958年發現潘甯放電真空計的抽氣作用後發明。
• 通過電場和磁場協同作用電離氣體分子，并利用钛濺射形成活性膜吸附氣體，實現抽氣。

結構與工作原理

1. 基本結構

   • 陽極：不鏽鋼圓筒或多格結構，形成放電單元。
   • 陰極：钛闆，受離子轟擊後濺射钛原子。
   • 磁場：垂直于陰極的強磁場（約0.1-0.2 T），約束電子運動路徑。

2. 工作過程

   • 電子在交叉電磁場中螺旋運動，與氣體碰撞産生離子和二次電子。
   • 離子轟擊钛陰極，濺射钛原子沉積在陽極表面形成活性膜，吸附氣體分子（如活性氣體化學吸附，惰性氣體被埋葬）。
   • 氫等輕氣體通過擴散進入钛層形成化合物。

優點與缺點

• 優點：
  ① 無油、無振動、低功耗；
  ② 壽命長（钛膜可再生），可烘烤；
  ③ 工作壓力範圍寬（1~10⁻¹⁰ Pa），極限真空達10⁻¹² mbar。

• 缺點：
  ① 磁鐵笨重，體積大；
  ② 對有機蒸氣敏感（30分鐘油污染即失效）；
  ③ 抽惰性氣體時可能出現壓力波動。

應用領域

• 科研領域：表面物理、高能加速器、宇宙模拟。
• 工業領域：半導體制造、核工業、高純金屬冶煉。

補充說明

• 需預抽至10⁻¹ Pa以下啟動，依賴無油前級泵（如分子篩吸附泵）。
• 改進型通過優化陰極結構（如三極式）提升對惰性氣體的抽速。

如需進一步了解具體型號（如3L-50泵）或維護方法，可參考等産品資料。

分類

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