化学机械法英文解释翻译、化学机械法的近义词、反义词、例句

英语翻译：

【化】 chemical mechanical pulping

分词翻译：

化学的英语翻译：

chemistry
【化】 chemistry
【医】 chemistry; chemo-; spagyric medicine

机械法的英语翻译：

【化】 mechanical process
【医】 mechanical method

专业解析

化学机械法（Chemical Mechanical Planarization，CMP）是一种广泛应用于半导体制造和精密材料加工的表面处理技术。该技术结合化学反应与机械研磨作用，实现材料表面的纳米级平整化。其核心原理为：通过化学腐蚀剂软化材料表面，再以机械抛光去除反应产物，最终达到高精度表面处理效果。

从汉英对照角度解析：

术语定义
中文“化学机械法”对应英文“Chemical Mechanical Planarization”（SEMI International Standards），在集成电路制造中特指晶圆表面平坦化工艺。该术语在1990年代被IBM工程师首次标准化（IEEE Xplore Digital Library）。
技术构成
包含化学组分（如二氧化硅抛光液）与机械装置（旋转抛光头）的协同作用。美国材料试验协会（ASTM）标准F1094明确指出，该方法需控制压力（3-7psi）、转速（20-150rpm）等参数（ASM Handbook Vol.23）。
物理方程
材料去除率遵循Preston方程：

$$ MRR = K_p cdot P cdot V $$

其中$K_p$为工艺常数，$P$为施加压力，$V$为相对速度（Journal of The Electrochemical Society）。
应用领域
主要应用于3D NAND闪存制造中的多层堆叠结构平坦化（Applied Materials技术白皮书），以及铜互连工艺中的阻挡层抛光（Lam Research工艺指南）。
权威释义
《牛津材料科学词典》将其定义为“通过化学活性浆料与机械摩擦的协同作用，实现亚微米级表面整平的混合加工技术”，该定义被剑桥大学微电子研究中心引用作为行业基准。

网络扩展解释

“化学机械法”是一个跨领域的术语，在不同应用场景中有不同含义，以下是主要解释方向：

一、制浆工业中的化学机械法

指化学预处理与机械处理结合的制浆工艺。通过化学药剂（如亚硫酸盐）对木片/草片进行轻度蒸煮，软化木质素结构后，再通过机械磨解分离纤维。其特点包括：

化学处理温和（半纤维素部分溶解，木质素保留较多）
机械能耗低于纯机械制浆
成浆得率可达85%-90%，高于化学制浆

二、医疗领域的应用

特指龋齿祛腐技术，通过化学凝胶软化腐质后，配合手工器械物理清除。与传统钻头相比具有微创优势。主要成分包含：

凝胶（含次氯酸钠等活性成分）
配套刮匙等工具
适用于儿童或浅层龋坏

三、材料科学中的机械化学法

通过机械能（研磨、冲击等）诱发物质表面活化，促进其与周围介质发生物理化学反应。常用于粉体表面改性（但该网页权威性较低，需谨慎参考）。

术语对应

英文表述需区分领域：

制浆：Chemical Mechanical Pulping (CMP)
材料：Mechanochemical Method

建议根据具体应用场景选择解释方向，如需深度技术细节可查阅《中国造纸学报》或《口腔材料器械杂志》等专业文献。