
【计】 silicon face
silicon
【医】 Si; silicium; silicon
surface; exterior; facade
【化】 surface
【医】 superficies; surface
在汉英词典及半导体科学领域,“硅表面”(Silicon Surface)特指单晶或多晶硅材料最外层的原子结构层及其物理化学性质,其特性对微电子器件性能具有决定性影响。以下是基于权威来源的详细解释:
硅表面(Silicon Surface)
指硅晶体最外层的原子排列层,通常指经过切割、抛光或化学处理后的硅晶圆外界面。在半导体工艺中,其原子级平整度、氧化状态及缺陷控制直接影响集成电路性能。
来源:国际纯粹与应用化学联合会(IUPAC)《材料化学术语》。
原子重构(Surface Reconstruction)
硅表面原子为降低能量常形成有序排列(如Si(111)-7×7重构),该现象由低能电子衍射(LEED)首次证实,是纳米器件制造的理论基础。
来源:美国物理学会《应用物理评论》。
氧化行为
暴露于空气时形成1.5-3nm自然氧化层(SiO₂),化学式:
$$ ce{Si + O2 -> SiO2} $$
该层影响电极接触电阻,需通过HF蚀刻或真空退火去除。
来源:IEEE电子器件协会标准。
参数 | 意义 | 测量方法 |
---|---|---|
粗糙度(Ra) | 表面起伏均方根值 | 原子力显微镜(AFM) |
掺杂浓度 | 表面载流子密度 | 四探针电阻仪 |
界面态密度 | 氧化层/硅界面缺陷 | 电容-电压(C-V)测试 |
数据来源:《半导体材料表征技术》(Springer, 第3版)。
IUPAC术语金皮书 [在线]
R. Tromp, "Si Surface Reconstruction", Appl. Phys. Rev. 2020
IEEE EDS, "Standard for Silicon Wafer Surface Prep"
SEMI International Standards
Schroder, D.K., Semiconductor Material and Device Characterization, Wiley
“硅表面”指硅材料(如晶体硅或硅基材料)的外层结构及其物理、化学特性。以下是详细解释:
硅表面通常覆盖一层自然氧化层(如二氧化硅,SiO₂),尤其是在暴露于空气或水中的情况下。理想情况下,纯净硅的清洁表面会形成大量未饱悬挂键(密度约为$10^{15}$ cm⁻²),这些悬挂键对表面电子特性有重要影响。
硅表面的特性由化学组成、悬挂键密度及表面处理方式共同决定,其研究在半导体工业和材料科学中具有重要意义。如需更深入的技术细节,可参考相关学术文献或专业资料。
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