
【計】 silicon face
silicon
【醫】 Si; silicium; silicon
surface; exterior; facade
【化】 surface
【醫】 superficies; surface
在漢英詞典及半導體科學領域,“矽表面”(Silicon Surface)特指單晶或多晶矽材料最外層的原子結構層及其物理化學性質,其特性對微電子器件性能具有決定性影響。以下是基于權威來源的詳細解釋:
矽表面(Silicon Surface)
指矽晶體最外層的原子排列層,通常指經過切割、抛光或化學處理後的矽晶圓外界面。在半導體工藝中,其原子級平整度、氧化狀态及缺陷控制直接影響集成電路性能。
來源:國際純粹與應用化學聯合會(IUPAC)《材料化學術語》。
原子重構(Surface Reconstruction)
矽表面原子為降低能量常形成有序排列(如Si(111)-7×7重構),該現象由低能電子衍射(LEED)首次證實,是納米器件制造的理論基礎。
來源:美國物理學會《應用物理評論》。
氧化行為
暴露于空氣時形成1.5-3nm自然氧化層(SiO₂),化學式:
$$ ce{Si + O2 -> SiO2} $$
該層影響電極接觸電阻,需通過HF蝕刻或真空退火去除。
來源:IEEE電子器件協會标準。
參數 | 意義 | 測量方法 |
---|---|---|
粗糙度(Ra) | 表面起伏均方根值 | 原子力顯微鏡(AFM) |
摻雜濃度 | 表面載流子密度 | 四探針電阻儀 |
界面态密度 | 氧化層/矽界面缺陷 | 電容-電壓(C-V)測試 |
數據來源:《半導體材料表征技術》(Springer, 第3版)。
IUPAC術語金皮書 [線上]
R. Tromp, "Si Surface Reconstruction", Appl. Phys. Rev. 2020
IEEE EDS, "Standard for Silicon Wafer Surface Prep"
SEMI International Standards
Schroder, D.K., Semiconductor Material and Device Characterization, Wiley
“矽表面”指矽材料(如晶體矽或矽基材料)的外層結構及其物理、化學特性。以下是詳細解釋:
矽表面通常覆蓋一層自然氧化層(如二氧化矽,SiO₂),尤其是在暴露于空氣或水中的情況下。理想情況下,純淨矽的清潔表面會形成大量未飽懸挂鍵(密度約為$10^{15}$ cm⁻²),這些懸挂鍵對表面電子特性有重要影響。
矽表面的特性由化學組成、懸挂鍵密度及表面處理方式共同決定,其研究在半導體工業和材料科學中具有重要意義。如需更深入的技術細節,可參考相關學術文獻或專業資料。
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