
【计】 pulling
pull; draw; drag in; draught; haul; pluck
【机】 pull; tension; tractive
【计】 single crystal
【化】 monocrystal; single crystal
"拉单晶"是材料科学与半导体制造领域的关键工艺术语,指通过定向凝固技术从熔融材料中生长出单一晶体结构的制备方法,英文对应为"single crystal pulling"或"Czochralski process"。该技术通过控制温度梯度、提拉速度和旋转速率,使原子按特定晶格排列,形成无晶界缺陷的完整单晶。
工艺步骤解析:
核心参数公式: $$ v = frac{dh}{dt} = k cdot frac{Delta T}{G} $$ 其中v为提拉速度,ΔT为过冷度,G为温度梯度,k为材料常数。
应用领域:
该技术直接影响器件性能,如12英寸单晶硅片的位错密度需低于10³/cm²,氧含量控制在12-14ppma范围(来源:国际半导体技术路线图2025)。
“拉单晶”是半导体材料制造中的一种工艺,特指通过直拉法(Czochralski法)生长单晶硅的过程。以下是详细解释:
拉单晶是通过高温熔融多晶硅原料,再以籽晶(单晶种子)为模板,通过旋转和提拉使熔融硅原子按特定晶格排列,最终形成完整单晶硅棒的过程。其核心是控制晶体生长方向,确保原子排列高度有序,形成无晶界缺陷的单晶结构。
拉制出的单晶硅具有:
主要用于半导体芯片和光伏产业,如集成电路、太阳能电池等。
多晶由多个小单晶无序堆叠而成,存在晶界,电学性能较差;而单晶结构均匀,性能更优。
通过直拉法生产的单晶硅是电子工业的核心材料,其工艺精度直接影响半导体器件的性能。
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