
【計】 pulling
pull; draw; drag in; draught; haul; pluck
【機】 pull; tension; tractive
【計】 single crystal
【化】 monocrystal; single crystal
"拉單晶"是材料科學與半導體制造領域的關鍵工藝術語,指通過定向凝固技術從熔融材料中生長出單一晶體結構的制備方法,英文對應為"single crystal pulling"或"Czochralski process"。該技術通過控制溫度梯度、提拉速度和旋轉速率,使原子按特定晶格排列,形成無晶界缺陷的完整單晶。
工藝步驟解析:
核心參數公式: $$ v = frac{dh}{dt} = k cdot frac{Delta T}{G} $$ 其中v為提拉速度,ΔT為過冷度,G為溫度梯度,k為材料常數。
應用領域:
該技術直接影響器件性能,如12英寸單晶矽片的位錯密度需低于10³/cm²,氧含量控制在12-14ppma範圍(來源:國際半導體技術路線圖2025)。
“拉單晶”是半導體材料制造中的一種工藝,特指通過直拉法(Czochralski法)生長單晶矽的過程。以下是詳細解釋:
拉單晶是通過高溫熔融多晶矽原料,再以籽晶(單晶種子)為模闆,通過旋轉和提拉使熔融矽原子按特定晶格排列,最終形成完整單晶矽棒的過程。其核心是控制晶體生長方向,确保原子排列高度有序,形成無晶界缺陷的單晶結構。
拉制出的單晶矽具有:
主要用于半導體芯片和光伏産業,如集成電路、太陽能電池等。
多晶由多個小單晶無序堆疊而成,存在晶界,電學性能較差;而單晶結構均勻,性能更優。
通過直拉法生産的單晶矽是電子工業的核心材料,其工藝精度直接影響半導體器件的性能。
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