
【计】 bulk acoustic wave device
body; style; substance; system
【计】 body
【医】 body; corpora; corps; corpus; leukocytic crystals; scapus; shaft; soma
Somato-
sound wave
【化】 sound wave
【医】 sonic wave
parts of an apparatus
【化】 device
体声波器件(Bulk Acoustic Wave Device, BAW)是一种基于声波在固体介质中传播特性设计的电子元件,主要用于射频信号处理领域。其核心原理是通过压电材料将电能转换为机械振动(声波),并在介质内部形成驻波,实现对特定频率信号的选择性过滤或延迟处理。
体声波器件的典型结构包含压电薄膜(如氮化铝或氧化锌)和上下金属电极。当交变电压施加于电极时,压电材料因逆压电效应产生机械振动,形成垂直于基板传播的体声波。谐振频率由薄膜厚度和材料声速决定,符合公式: $$ f = frac{v}{2d} $$ 其中$v$为声速,$d$为薄膜厚度。
与传统表面声波(SAW)器件相比,体声波器件具有更高功率容量(>30dBm)、更宽温度稳定性(-40℃~125℃)和更陡峭的滚降特性(可达10dB/μs)。这些特性使其在Sub-6GHz和毫米波频段的5G通信系统中占据核心地位。
体声波器件(Bulk Acoustic Wave Device,简称BAW器件)是一种利用体声波在固体材料中传播特性实现信号处理的电子元件,主要应用于高频通信领域。以下是详细解释:
体声波器件通过压电材料的机电转换特性,将电信号与声波能量相互转换。其核心是体声波(Bulk Acoustic Wave),即声波在材料内部而非表面传播的现象。与表面声波器件(SAW)不同,BAW器件的声波能量集中在材料内部,减少了能量损耗。
采用薄膜沉积和微机电系统(MEMS)技术,例如在基底上逐层沉积电极和压电材料,并通过刻蚀工艺形成功能结构层。
如需进一步了解具体型号或技术演进,可参考学术文献或行业白皮书。
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