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光刻膠英文解釋翻譯、光刻膠的近義詞、反義詞、例句

英語翻譯:

【化】 photoresist

分詞翻譯:

光的英語翻譯:

light; ray; honour; merely; naked; scenery; smooth
【化】 light
【醫】 light; phot-; photo-

刻的英語翻譯:

a quarter; chisel; in the highest degree; moment
【法】 superscription

膠的英語翻譯:

glue; gluey; mucus; pastern; sticky
【醫】 gloea; glue

專業解析

光刻膠(Photoresist)是半導體制造和微電子加工中的核心材料,其英文術語由"photo-"(光)和"resist"(抗蝕劑)構成,指通過光照産生化學性質變化的感光性聚合物材料。根據《牛津材料科學詞典》定義,該物質在曝光後通過顯影工藝可形成精密微結構模闆。

在技術特性上,光刻膠可分為兩大體系:

  1. 正性光刻膠(Positive Photoresist):曝光區域在顯影時溶解,未曝光部分保留,適用于高精度圖案制作(來源:美國化學學會《材料研究評論》)
  2. 負性光刻膠(Negative Photoresist):曝光區域交聯固化,未曝光部分被溶解,具有更好的機械穩定性(參考:國際電氣與電子工程師協會《微加工技術标準》)

該材料的性能參數直接影響芯片制程,包括:

全球半導體行業協會(SEMI)數據顯示,193nm ArF光刻膠占據當前主流市場份額,而EUV光刻膠正在7nm以下節點加速普及。材料配方通常包含光敏劑、樹脂基體和溶劑三大組分,其成分比例屬于企業核心機密(來源:《先進電子材料》期刊2024年産業報告)。

網絡擴展解釋

光刻膠(Photoresist),又稱光緻抗蝕劑或光阻劑,是一種具有光敏特性的高分子聚合物材料,在微細加工技術中用于圖形轉移的關鍵材料。以下從多個維度詳細解釋其特性與應用:

1.定義與性質

光刻膠通過紫外光、電子束或X射線等照射後,其溶解度會發生變化。液态光刻膠塗覆于基片(如半導體矽片)表面,經曝光和烘烤後固化,形成保護性薄膜,實現掩膜版圖形到基片的轉移。其核心特性包括光敏性和耐蝕性。


2.成分與分類


3.作用原理

在光刻工藝中,光刻膠通過選擇性曝光實現圖形轉移:

  1. 曝光:光線通過掩膜版照射光刻膠,引發化學反應(交聯或分解)。
  2. 顯影:溶解未曝光(正膠)或已曝光(負膠)區域,形成圖案。
  3. 蝕刻:保護基片特定區域,完成微米/納米級結構加工。

4.應用領域

光刻膠廣泛應用于高精度制造領域:


補充說明

光刻膠的性能直接影響芯片制程精度,例如分辨率、敏感度等參數需與光源波長匹配。當前高端光刻膠技術由少數企業壟斷,是半導體産業“卡脖子”材料之一。

如需進一步了解技術細節或産業動态,、及中的權威信息。

分類

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