
【化】 photoresist
light; ray; honour; merely; naked; scenery; smooth
【化】 light
【醫】 light; phot-; photo-
a quarter; chisel; in the highest degree; moment
【法】 superscription
glue; gluey; mucus; pastern; sticky
【醫】 gloea; glue
光刻膠(Photoresist)是半導體制造和微電子加工中的核心材料,其英文術語由"photo-"(光)和"resist"(抗蝕劑)構成,指通過光照産生化學性質變化的感光性聚合物材料。根據《牛津材料科學詞典》定義,該物質在曝光後通過顯影工藝可形成精密微結構模闆。
在技術特性上,光刻膠可分為兩大體系:
該材料的性能參數直接影響芯片制程,包括:
全球半導體行業協會(SEMI)數據顯示,193nm ArF光刻膠占據當前主流市場份額,而EUV光刻膠正在7nm以下節點加速普及。材料配方通常包含光敏劑、樹脂基體和溶劑三大組分,其成分比例屬于企業核心機密(來源:《先進電子材料》期刊2024年産業報告)。
光刻膠(Photoresist),又稱光緻抗蝕劑或光阻劑,是一種具有光敏特性的高分子聚合物材料,在微細加工技術中用于圖形轉移的關鍵材料。以下從多個維度詳細解釋其特性與應用:
光刻膠通過紫外光、電子束或X射線等照射後,其溶解度會發生變化。液态光刻膠塗覆于基片(如半導體矽片)表面,經曝光和烘烤後固化,形成保護性薄膜,實現掩膜版圖形到基片的轉移。其核心特性包括光敏性和耐蝕性。
在光刻工藝中,光刻膠通過選擇性曝光實現圖形轉移:
光刻膠廣泛應用于高精度制造領域:
光刻膠的性能直接影響芯片制程精度,例如分辨率、敏感度等參數需與光源波長匹配。當前高端光刻膠技術由少數企業壟斷,是半導體産業“卡脖子”材料之一。
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