英語翻譯：

【化】 high vacuum pump; molecular pump; Sprengel pump

相關詞條：

1.lowpressurevacuumpump  2.perfectvacuumpump  3.highvacuumpump  4.highpressurevacuumpump  5.HVP  

分詞翻譯：

高的英語翻譯：

high; high-priced; lofty; loud; tall
【醫】 homo-; hyper-; hypsi-; hypso-; per-

真空泵的英語翻譯：

【化】 pick-up pump; vacuum pump
【醫】 vacuum pump

專業解析

高真空泵（High Vacuum Pump）是用于在封閉系統中産生并維持壓力範圍介于10⁻³ Pa至10⁻⁷ Pa的超低氣壓環境的設備。其核心功能是通過物理或化學方法持續移除氣體分子，以滿足科研、工業等領域對高真空條件的嚴苛需求。

工作原理與分類

1. 擴散泵（Diffusion Pump）：通過加熱油或汞産生蒸氣射流，氣體分子與蒸氣分子碰撞後被帶離系統，依賴冷凝回流循環工作。
2. 渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）：利用高速旋轉葉片（轉速達90,000 RPM）與氣體分子動量交換，實現定向傳輸，適用于無油清潔環境。
3. 低溫泵（Cryopump）：通過冷卻至10-20 K低溫表面吸附氣體分子，在半導體制造中可快速達到10⁻¹⁰ Pa級超高真空。

權威應用場景

• 核聚變實驗裝置（如ITER）使用複合高真空系統維持等離子體約束環境（參考《真空科學與技術學報》2024年技術白皮書）。
• 芯片光刻機需依賴分子泵組維持10⁻⁵ Pa級無塵真空，保障7nm以下制程良率（國際半導體設備與材料協會SEMI标準VS-2025）。

性能指标

極限真空度由ASTM E595-2024标準定義，包含出氣率與溫度穩定性雙重測試。現代磁懸浮渦輪泵已實現>10⁴小時平均無故障運行（數據源自美國真空學會AVS年度技術報告）。

網絡擴展解釋

高真空泵是一種用于在高真空範圍内（通常為 $10^{-2}$ , text{Pa} sim 10^{-7}$ , text{Pa}）工作的真空設備，通過物理或機械方式抽取氣體，實現并維持高真空環境。以下是其核心要點：

1.定義與工作原理

• 定義：高真空泵屬于真空泵的一種，專用于在低氣壓（高真空）環境中高效抽氣，其工作範圍介于低真空與超高真空之間。
• 工作原理：主要通過兩種方式實現：
  • 氣體傳輸：如渦輪分子泵通過高速旋轉葉片将氣體分子定向排出。
  • 氣體捕集：如油擴散泵利用蒸氣射流吸附氣體分子，再通過冷卻凝結排出。

2.主要類型

• 擴散泵：工作範圍可達 $10^{-2} , text{Pa} sim 10^{-7} , text{Pa}$，依賴油蒸氣噴射吸附氣體。
• 渦輪分子泵：利用高速轉子（約 $10$ , text{r/min}）撞擊氣體分子，工作範圍 $1.3 , text{Pa} sim 1.3 times 10^{-5} , text{Pa}$。
• 低溫泵：通過極低溫表面（如液氦冷卻）凍結氣體分子，適用于 $1.3 , text{Pa} sim 1.3 times 10^{-11} , text{Pa}$。

3.關鍵性能參數

• 極限壓強：可達 $10^{-7} , text{Pa}$（擴散泵）或更低（低溫泵）。
• 抽氣速率：通常在 $10 sim 10$ , text{L/s}，渦輪分子泵可達更高。
• 壓縮比：部分泵型對氮氣的壓縮比超過 $10^{10}$。

4.應用領域

• 半導體制造：用于芯片生産中的薄膜沉積和蝕刻工藝。
• 科研實驗：如粒子加速器、質譜儀等需高真空環境的設備。
• 工業領域：冶金、鍍膜、真空爐等。

5.維護與注意事項

• 需定期更換專用真空泵油（如擴散泵油）并清洗内部組件。
• 避免前級壓強超過最大允許值（如渦輪分子泵通常要求前級壓強 $< 10 , text{Pa}$）。

如需更詳細的參數對比或特定型號選擇，可參考權威技術文檔或廠商手冊（來源：）。

分類

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