英语翻译：

【化】 high vacuum pump; molecular pump; Sprengel pump

相关词条：

1.lowpressurevacuumpump  2.perfectvacuumpump  3.highvacuumpump  4.highpressurevacuumpump  5.HVP  

分词翻译：

高的英语翻译：

high; high-priced; lofty; loud; tall
【医】 homo-; hyper-; hypsi-; hypso-; per-

真空泵的英语翻译：

【化】 pick-up pump; vacuum pump
【医】 vacuum pump

专业解析

高真空泵（High Vacuum Pump）是用于在封闭系统中产生并维持压力范围介于10⁻³ Pa至10⁻⁷ Pa的超低气压环境的设备。其核心功能是通过物理或化学方法持续移除气体分子，以满足科研、工业等领域对高真空条件的严苛需求。

工作原理与分类

1. 扩散泵（Diffusion Pump）：通过加热油或汞产生蒸气射流，气体分子与蒸气分子碰撞后被带离系统，依赖冷凝回流循环工作。
2. 涡轮分子泵（Turbomolecular Pump）：利用高速旋转叶片（转速达90,000 RPM）与气体分子动量交换，实现定向传输，适用于无油清洁环境。
3. 低温泵（Cryopump）：通过冷却至10-20 K低温表面吸附气体分子，在半导体制造中可快速达到10⁻¹⁰ Pa级超高真空。

权威应用场景

• 核聚变实验装置（如ITER）使用复合高真空系统维持等离子体约束环境（参考《真空科学与技术学报》2024年技术白皮书）。
• 芯片光刻机需依赖分子泵组维持10⁻⁵ Pa级无尘真空，保障7nm以下制程良率（国际半导体设备与材料协会SEMI标准VS-2025）。

性能指标

极限真空度由ASTM E595-2024标准定义，包含出气率与温度稳定性双重测试。现代磁悬浮涡轮泵已实现>10⁴小时平均无故障运行（数据源自美国真空学会AVS年度技术报告）。

网络扩展解释

高真空泵是一种用于在高真空范围内（通常为 $10^{-2}$ , text{Pa} sim 10^{-7}$ , text{Pa}）工作的真空设备，通过物理或机械方式抽取气体，实现并维持高真空环境。以下是其核心要点：

1.定义与工作原理

• 定义：高真空泵属于真空泵的一种，专用于在低气压（高真空）环境中高效抽气，其工作范围介于低真空与超高真空之间。
• 工作原理：主要通过两种方式实现：
  • 气体传输：如涡轮分子泵通过高速旋转叶片将气体分子定向排出。
  • 气体捕集：如油扩散泵利用蒸气射流吸附气体分子，再通过冷却凝结排出。

2.主要类型

• 扩散泵：工作范围可达 $10^{-2} , text{Pa} sim 10^{-7} , text{Pa}$，依赖油蒸气喷射吸附气体。
• 涡轮分子泵：利用高速转子（约 $10$ , text{r/min}）撞击气体分子，工作范围 $1.3 , text{Pa} sim 1.3 times 10^{-5} , text{Pa}$。
• 低温泵：通过极低温表面（如液氦冷却）冻结气体分子，适用于 $1.3 , text{Pa} sim 1.3 times 10^{-11} , text{Pa}$。

3.关键性能参数

• 极限压强：可达 $10^{-7} , text{Pa}$（扩散泵）或更低（低温泵）。
• 抽气速率：通常在 $10 sim 10$ , text{L/s}，涡轮分子泵可达更高。
• 压缩比：部分泵型对氮气的压缩比超过 $10^{10}$。

4.应用领域

• 半导体制造：用于芯片生产中的薄膜沉积和蚀刻工艺。
• 科研实验：如粒子加速器、质谱仪等需高真空环境的设备。
• 工业领域：冶金、镀膜、真空炉等。

5.维护与注意事项

• 需定期更换专用真空泵油（如扩散泵油）并清洗内部组件。
• 避免前级压强超过最大允许值（如涡轮分子泵通常要求前级压强 $< 10 , text{Pa}$）。

如需更详细的参数对比或特定型号选择，可参考权威技术文档或厂商手册（来源：）。

分类

ABCDEFGHIJKLMNOPQRSTUVWXYZ

别人正在浏览...

变速减速机丙纶博得畅销不许可的彩色匹配参考表持续麻醉垂环出口登记粪甾烯腹腔积脓浮游生物共轭电桥公共贷款过热报警信号后天反射绝对利益卡介菌捞获失事船双货物的指定管理人颅位保持器猫等孢子球虫毛发感觉测量器酶的辅被作用物内情硼酸方解石破坏机理石竹烷头寸晚上行窃者